చైనా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ

VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేది ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఒక ముఖ్యమైన సిరామిక్ భాగం, ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్(CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) చెక్కే పరికరాలలో భాగాలు ఉన్నాయిఫోకస్ రింగ్స్, గ్యాస్ షవర్‌హెడ్, ట్రే, ఎడ్జ్ రింగులు, మొదలైనవి భాగాలు.

ఉదాహరణకు, ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర వెలుపల మరియు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంచబడిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం, రింగ్ గుండా వెళుతున్న ప్లాస్మాను ఫోకస్ చేయడానికి రింగ్‌కు వోల్టేజ్‌ని వర్తింపజేయడం ద్వారా, తద్వారా ప్లాస్మాను పొరపై కేంద్రీకరించడం ద్వారా ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ప్రాసెసింగ్. సాంప్రదాయ ఫోకస్ రింగ్ సిలికాన్ లేదా తయారు చేయబడిందిక్వార్ట్జ్, ఒక సాధారణ ఫోకస్ రింగ్ మెటీరియల్‌గా వాహక సిలికాన్, ఇది సిలికాన్ పొరల వాహకతకు దాదాపు దగ్గరగా ఉంటుంది, అయితే కొరత ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్లాస్మాలో పేలవమైన ఎచింగ్ రెసిస్టెన్స్, ఎచింగ్ మెషిన్ పార్ట్స్ మెటీరియల్‌లను తరచుగా కొంత కాలం పాటు ఉపయోగిస్తారు, తీవ్రమైన ఉంటుంది. తుప్పు దృగ్విషయం, దాని ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని తీవ్రంగా తగ్గిస్తుంది.

Sఒలిడ్ SiC ఫోకస్ రింగ్పని సూత్రం：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక:

మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక
అంశం	మరియు	CVD SiC
సాంద్రత (గ్రా/సెం³)	2.33	3.21
బ్యాండ్ గ్యాప్ (eV)	1.12	2.3
ఉష్ణ వాహకత (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
సాగే మాడ్యులస్ (GPa)	150	440
కాఠిన్యం (GPa)	11.4	24.5
ధరించడానికి మరియు తుప్పుకు నిరోధకత	పేద	అద్భుతమైన

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం SiC ఫోకస్ చేసే రింగుల వంటి అధునాతన ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ (CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) భాగాలను అందిస్తుంది. మా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు అయాన్ ఎచింగ్ నిరోధకత పరంగా సాంప్రదాయ సిలికాన్‌ను అధిగమిస్తాయి.

మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌ల యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు ఉన్నాయి:

తగ్గిన ఎచింగ్ రేట్ల కోసం అధిక సాంద్రత.

అధిక బ్యాండ్‌గ్యాప్‌తో అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్.

అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం.

సుపీరియర్ మెకానికల్ ప్రభావ నిరోధకత మరియు స్థితిస్థాపకత.

అధిక కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత.

ఉపయోగించి తయారు చేస్తారుప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD)పద్ధతులు, మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎచింగ్ ప్రక్రియల పెరుగుతున్న డిమాండ్‌లను తీరుస్తాయి. అవి అధిక ప్లాస్మా శక్తి మరియు శక్తిని తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయికెపాసిటివ్ కపుల్డ్ ప్లాస్మా (CCP)వ్యవస్థలు.

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. అత్యుత్తమ నాణ్యత మరియు సామర్థ్యం కోసం మా SiC భాగాలను ఎంచుకోండి.

View as

SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీ

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా ఏర్పడిన Vetek సెమీకండక్టర్ యొక్క అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) భౌతిక ఆవిరి రవాణా (PVT) ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలను పెంచడానికి మూల పదార్థంగా ఉపయోగించవచ్చు. SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీలో, మూల పదార్థం క్రూసిబుల్‌లోకి లోడ్ చేయబడుతుంది మరియు సీడ్ క్రిస్టల్‌పై సబ్‌లిమేట్ చేయబడుతుంది. పెరుగుతున్న SiC స్ఫటికాల కోసం మెటీరియల్‌ని రీసైకిల్ చేయడానికి విస్మరించిన CVD-SiC బ్లాక్‌లను ఉపయోగించండి. మాతో భాగస్వామ్యాన్ని ఏర్పరచుకోవడానికి స్వాగతం.

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

CVD SiC షవర్ హెడ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ప్రముఖ CVD SiC షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SiC మెటీరియల్‌లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. CVD SiC షవర్ హెడ్ దాని అద్భుతమైన థర్మోకెమికల్ స్థిరత్వం, అధిక మెకానికల్ బలం మరియు నిరోధకత కారణంగా ఫోకస్ చేసే రింగ్ మెటీరియల్‌గా ఎంపిక చేయబడింది. ప్లాస్మా ఎరోషన్.మేము చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

SiC షవర్ హెడ్

VeTek సెమీకండక్టర్ చైనాలో ప్రముఖ SiC షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SiC మెటీరియల్‌లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.SiC షవర్ హెడ్ దాని అద్భుతమైన థర్మోకెమికల్ స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం మరియు ప్లాస్మా కోతకు నిరోధకత కారణంగా ఫోకస్ చేసే రింగ్ మెటీరియల్‌గా ఎంపిక చేయబడింది. .చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ఒక ప్రముఖ సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ యొక్క బహుళ-పోరోసిటీ డిజైన్ CVD ప్రక్రియలో ఉత్పత్తి చేయబడిన వేడిని చెదరగొట్టేలా నిర్ధారిస్తుంది. , సబ్‌స్ట్రేట్ సమానంగా వేడి చేయబడిందని నిర్ధారిస్తుంది. చైనాలో మీతో దీర్ఘకాలికంగా ఏర్పాటు చేయడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ ఘన SiC అంచు రింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ఒక ప్రముఖ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ సాలిడ్ SiC ఎడ్జ్ రింగ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ SiC ఎడ్జ్ రింగ్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌తో ఉపయోగించినప్పుడు మెరుగైన ఎచింగ్ ఏకరూపత మరియు ఖచ్చితమైన పొర స్థానాలను అందిస్తుంది. , స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన ఎచింగ్ ఫలితాలను నిర్ధారిస్తుంది. మేము మీ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాము చైనాలో దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి.

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ఒక ప్రముఖ సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SiC మెటీరియల్‌లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.Solid SiC దాని అద్భుతమైన థర్మోకెమికల్ స్థిరత్వం, అధిక మెకానికల్ బలం మరియు ప్లాస్మాకు నిరోధకత కారణంగా ఫోకస్ చేసే రింగ్ మెటీరియల్‌గా ఎంపిక చేయబడింది. కోత

ఇంకా చదవండి విచారణ పంపండి

<1 2 >

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత ఫ్యాక్టరీ ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేయబడిన అధునాతన మరియు మన్నికైన ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ని కొనుగోలు చేయాలనుకున్నా, మీరు మాకు సందేశం పంపవచ్చు.