LPE రియాక్టర్ ఫ్యాక్టరీ కోసం 8 అంగుళాల హాఫ్‌మూన్ పార్ట్

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ప్లానెటరీ రొటేషన్ డిస్క్ తయారీదారు

LPE PE2061S సరఫరాదారు కోసం SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ మెటీరియల్స్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు. మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో CVD టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ భాగాలు, SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ లేదా సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ కోసం సింటెర్డ్ TaC కోటింగ్ భాగాలు ఉన్నాయి. ISO9001 ఆమోదించబడింది, VeTek సెమీకండక్టర్ నాణ్యతపై మంచి నియంత్రణను కలిగి ఉంది. VeTek సెమీకండక్టర్ కొనసాగుతున్న పరిశోధన మరియు పునరుక్తి సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేయడం ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ పరిశ్రమలో ఆవిష్కర్తగా మారడానికి అంకితం చేయబడింది.

ప్రధాన ఉత్పత్తులు టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ డిఫెక్టర్ రింగ్, TaC కోటెడ్ డైవర్షన్ రింగ్, TaC కోటెడ్ హాఫ్‌మూన్ భాగాలు, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ప్లానెటరీ రొటేషన్ డిస్క్ (Aixtron G10) , TaC కోటెడ్ క్రూసిబుల్; TaC కోటెడ్ రింగ్స్; TaC కోటెడ్ పోరస్ గ్రాఫైట్; టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్; TaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్; TaC టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ప్లేట్; TaC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్; TaC కోటింగ్ రింగ్; TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ కవర్; TaC కోటెడ్ చంక్ మొదలైనవి, స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువ, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.

TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో పూయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది. ప్రయోజనం క్రింది చిత్రంలో చూపబడింది:

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత 3880°C వరకు అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అద్భుతమైన మెకానికల్ బలం, కాఠిన్యం మరియు థర్మల్ షాక్‌లకు నిరోధకత కారణంగా దృష్టిని ఆకర్షించింది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత అవసరాలతో కూడిన సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలకు ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా మారింది. Aixtron MOCVD సిస్టమ్ మరియు LPE SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ వంటివి. ఇది PVT పద్ధతిలో SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్‌లో విస్తృత అప్లికేషన్‌ను కూడా కలిగి ఉంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత యొక్క పరామితి:

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
సాంద్రత	14.3 (గ్రా/సెం³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత	0.3
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం	6.3 10-6/K
కాఠిన్యం (HK)	2000 HK
ప్రతిఘటన	1×10-5 ఓం*సెం
ఉష్ణ స్థిరత్వం	<2500℃
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది	-10~-20um
పూత మందం	≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)

TaC కోటింగ్ EDX డేటా

TaC కోటింగ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ డేటా

మూలకం	పరమాణు శాతం
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	సగటు
సి కె	52.10	57.41	52.37	53.96
టా ఎం	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC కోటింగ్ చక్ TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ డిస్క్ TaC కోటెడ్ ప్లేట్ TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ప్లేట్ TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ CVD TaC కోటింగ్ కవర్ CVD TaC కోటింగ్ రింగ్ TaC కోటింగ్ ప్లేట్

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

VeTek సెమీకండక్టర్ అల్ట్రా ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, ఈ పూతలు శుద్ధి చేయబడిన గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు వక్రీభవన మెటల్ భాగాలకు వర్తించేలా రూపొందించబడ్డాయి.

మా అధిక స్వచ్ఛత పూతలు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాయి. అవి వేఫర్ క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్‌లకు రక్షణ పొరగా పనిచేస్తాయి, MOCVD మరియు EPI వంటి ప్రక్రియలలో ఎదురయ్యే తినివేయు మరియు రియాక్టివ్ పరిసరాల నుండి వాటిని రక్షిస్తాయి. ఈ ప్రక్రియలు పొర ప్రాసెసింగ్ మరియు పరికర తయారీకి సమగ్రమైనవి. అదనంగా, మా పూతలు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్‌లు మరియు శాంపిల్ హీటింగ్‌లో అప్లికేషన్‌లకు బాగా సరిపోతాయి, ఇక్కడ అధిక వాక్యూమ్, రియాక్టివ్ మరియు ఆక్సిజన్ పరిసరాలు ఉంటాయి.

VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా అధునాతన మెషీన్ షాప్ సామర్థ్యాలతో సమగ్ర పరిష్కారాన్ని అందిస్తున్నాము. ఇది గ్రాఫైట్, సిరామిక్స్ లేదా రిఫ్రాక్టరీ లోహాలను ఉపయోగించి బేస్ కాంపోనెంట్‌లను తయారు చేయడానికి మరియు ఇంట్లోనే SiC లేదా TaC సిరామిక్ కోటింగ్‌లను వర్తింపజేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మేము కస్టమర్-సరఫరా చేసిన భాగాలకు పూత సేవలను కూడా అందిస్తాము, విభిన్న అవసరాలకు అనుగుణంగా సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తాము.

మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు Si epitaxy, SiC ఎపిటాక్సీ, MOCVD సిస్టమ్, RTP/RTA ప్రాసెస్, ఎచింగ్ ప్రాసెస్, ICP/PSS ఎచింగ్ ప్రాసెస్, బ్లూ మరియు గ్రీన్ LED, UV LED మరియు డీప్-UVతో సహా వివిధ LED రకాల ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. LED మొదలైనవి, ఇది LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI మొదలైన వాటి నుండి పరికరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.

రియాక్టర్ భాగాలు మనం చేయగలము:

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు:

VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పరామితి:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg-1·K-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m-1·K-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10-6K-1

ఫీచర్ చేయబడిన ఉత్పత్తులు

మా గురించి

VeTek సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ కో., LTD, 2016లో స్థాపించబడింది, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అధునాతన పూత పదార్థాలను అందించే ప్రముఖ ప్రొవైడర్. మా వ్యవస్థాపకుడు, చైనీస్ అకాడమీ ఆఫ్ సైన్సెస్ ఇన్స్టిట్యూట్ ఆఫ్ మెటీరియల్స్ నుండి మాజీ నిపుణుడు, పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై దృష్టి సారించి కంపెనీని స్థాపించారు.

మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలు ఉన్నాయిCVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతలు, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూతలు, బల్క్ SiC, SiC పొడులు మరియు అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పదార్థాలు. ప్రధాన ఉత్పత్తులు SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, ప్రీహీట్ రింగ్‌లు, TaC కోటెడ్ డైవర్షన్ రింగ్, హాఫ్‌మూన్ పార్ట్‌లు మొదలైనవి, స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.

ఇంకా చదవండి