VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ నైట్రైడ్ తయారీపై దృష్టి పెడుతుంది మరియు సీనియర్ నిపుణులు మరియు అత్యుత్తమ సాంకేతిక ప్రతిభావంతులతో కూడిన పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి బృందాన్ని కలిగి ఉంది. సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ కాఠిన్యం, వేడి నిరోధకత, సాధారణ సిరామిక్ పదార్థాల యొక్క దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంటాయి మరియు మంచి థర్మల్ షాక్ నిరోధకత, అధిక ఉష్ణోగ్రత క్రీప్ నిరోధకత, మంచి స్వీయ-సరళత మరియు మంచి రసాయన స్థిరత్వం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంటాయి మరియు విస్తృతంగా ఉన్నాయి. కొత్త శక్తి, రసాయన పరిశ్రమ, ఏరోస్పేస్ మరియు సెమీకండక్టర్ రంగాలలో ఉపయోగిస్తారు.
1. అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు వివిధ రకాల బలమైన ఆమ్లాలు, ఆల్కాలిస్ మరియు తినివేయు వాయువులను తట్టుకోగలవు. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో తరచుగా తినివేయు రసాయనాలతో వ్యవహరించాల్సి ఉంటుంది, సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన పనితీరు హామీని అందిస్తుంది.
2. అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ అధిక కాఠిన్యం, అద్భుతమైన సంపీడన బలం మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, యాంత్రిక ఒత్తిడిని మరియు ఉపరితల దుస్తులను తట్టుకోగలవు, వైకల్యం లేదా చీలికకు సులభం కాదు. ఈ యాంత్రిక ఆస్తి సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో నిర్మాణ మరియు ప్రక్రియ భాగాలకు ఒక పదార్థంగా చాలా సరిఅయినది.
3. అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో స్థిరత్వాన్ని కొనసాగించగలదు, మృదువుగా లేదా కరగడం సులభం కాదు మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ మరియు నిర్వహణను తట్టుకోగలదు. ఇది గ్రిప్పర్స్, రియాక్షన్ ఛాంబర్ భాగాలు మొదలైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ పరికరాల కీలక భాగాల తయారీలో దీనిని ఉపయోగించడానికి అనుమతిస్తుంది.
4. అద్భుతమైన ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలు
సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలు కీలకం. సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ మంచి ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి ప్రస్తుత లీకేజీ లేదా విద్యుదయస్కాంత జోక్యం నుండి సర్క్యూట్ భాగాలను సమర్థవంతంగా వేరుచేసి రక్షించగలవు, పరికరం యొక్క స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడతాయి.
5. ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ వాహకత
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి, పరికరం ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించడం మరియు వెదజల్లడం, ఆపరేటింగ్ ప్రక్రియలో పరికరం యొక్క ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది. సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క అధిక-పనితీరు ఆపరేషన్కు ఇది కీలకం.
1. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు ఎచింగ్ ఛాంబర్ భాగాలు
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ తరచుగా సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు ఎచింగ్ ఛాంబర్ కాంపోనెంట్ల కోసం పదార్థాలుగా ఉపయోగించబడతాయి ఎందుకంటే వాటి అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్లు పొరలు లేదా సబ్స్ట్రేట్లను పరిష్కరించడానికి మరియు స్థిరీకరించడానికి ఉపయోగిస్తారు, అయితే ఎచింగ్ ఛాంబర్ భాగాలు తినివేయు వాయువులు మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలను తట్టుకోవడానికి ఉపయోగించబడతాయి.
2. గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్లు మరియు రిఫ్లెక్టర్లు
గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్లు మరియు రిఫ్లెక్టర్లలో సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ కూడా ఉపయోగించబడతాయి. గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్లు రియాక్టివ్ లేదా ప్రొటెక్టివ్ వాయువులను రియాక్షన్ ఛాంబర్లోకి ఏకరీతిలో పంపిణీ చేయడానికి ఉపయోగించబడతాయి, అయితే రిఫ్లెక్టర్లు ప్రతిచర్య సామర్థ్యం మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి రియాక్షన్ చాంబర్లో కాంతి పంపిణీ మరియు ప్రతిబింబాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.
3. హోల్డర్లు మరియు థర్మల్ భాగాలు
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సెరామిక్స్ తరచుగా సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో హోల్డర్లుగా మరియు థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ భాగాలుగా ఉపయోగించబడతాయి. స్థిరమైన పరికరాల ఆపరేషన్ మరియు పరికర ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ఈ భాగాలు మంచి మెకానికల్ బలం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉండాలి.
4. కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) మెత్తలు
సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్ అనేది రసాయన మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) ప్రక్రియలో ప్యాడ్ మెటీరియల్గా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది అద్భుతమైన ఫ్లాట్నెస్ మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు సెమీకండక్టర్ పొర ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్నెస్ మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి పాలిషింగ్ ప్రక్రియలో స్థిరమైన మద్దతును అందిస్తుంది.