సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్

మీరు మా ఫ్యాక్టరీ నుండి సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్‌ని కొనుగోలు చేయడంలో నిశ్చింతగా ఉండవచ్చు. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క విప్లవాత్మక సాంకేతికత సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్ ఉత్పత్తిని అనుమతిస్తుంది, ఇది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ ద్వారా సృష్టించబడిన అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థం.

సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ సిస్టమ్‌లలో ఉపయోగించబడుతుంది. ఘన SiC ఎచింగ్ ఫోకస్సింగ్ రింగ్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు నియంత్రిత ఎచింగ్‌ను సాధించడంలో సహాయపడే కీలకమైన భాగం.

ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, ఫోకస్ చేసే రింగ్ బహుళ పాత్రలను పోషిస్తుంది:

1. ప్లాస్మాను కేంద్రీకరించడం: ఘనమైన SiC ఎచింగ్ ఫోకస్సింగ్ రింగ్ పొర చుట్టూ ప్లాస్మాను ఆకృతి చేయడంలో మరియు కేంద్రీకరించడంలో సహాయపడుతుంది, చెక్కడం ప్రక్రియ ఏకరీతిగా మరియు సమర్ధవంతంగా జరిగేలా చూస్తుంది. ఇది ప్లాస్మాను కావలసిన ప్రాంతానికి పరిమితం చేయడంలో సహాయపడుతుంది, విచ్చలవిడి చెక్కడం లేదా పరిసర ప్రాంతాలకు నష్టం జరగకుండా చేస్తుంది.

2. ఛాంబర్ గోడలను రక్షించడం: ఫోకస్ చేసే రింగ్ ప్లాస్మా మరియు ఛాంబర్ గోడల మధ్య అవరోధంగా పనిచేస్తుంది, ప్రత్యక్ష పరిచయం మరియు సంభావ్య నష్టాన్ని నివారిస్తుంది. SiC ప్లాస్మా కోతకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు ఛాంబర్ గోడలకు అద్భుతమైన రక్షణను అందిస్తుంది.

3.ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ: ఎచింగ్ ప్రక్రియలో పొర అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్వహించడంలో ఫోకస్ రింగ్ సహాయం చేస్తుంది. ఇది వేడిని వెదజల్లడానికి సహాయపడుతుంది మరియు ఎచింగ్ ఫలితాలను ప్రభావితం చేసే స్థానికీకరించిన వేడెక్కడం లేదా ఉష్ణ ప్రవణతలను నిరోధిస్తుంది.

ఘన SiC దాని అత్యుత్తమ ఉష్ణ మరియు రసాయన స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం మరియు ప్లాస్మా కోతకు నిరోధకత కారణంగా రింగులను కేంద్రీకరించడానికి ఎంపిక చేయబడింది. ఈ లక్షణాలు SiCని ప్లాస్మా ఎచింగ్ సిస్టమ్‌లలోని కఠినమైన మరియు డిమాండ్ ఉన్న పరిస్థితులకు తగిన పదార్థంగా చేస్తాయి.

నిర్దిష్ట ప్లాస్మా ఎచింగ్ సిస్టమ్ మరియు ప్రాసెస్ అవసరాలను బట్టి ఫోకస్ చేసే రింగుల డిజైన్ మరియు స్పెసిఫికేషన్‌లు మారవచ్చని గమనించాలి. VeTek సెమీకండక్టర్ సరైన ఎచింగ్ పనితీరు మరియు దీర్ఘాయువును నిర్ధారించడానికి ఫోకస్ చేసే రింగ్‌ల ఆకారం, కొలతలు మరియు ఉపరితల లక్షణాలను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది.Solid SiC అనేది పొర క్యారియర్‌లు, ససెప్టర్లు, డమ్మీ వేఫర్, గైడ్ రింగ్‌లు, ఎచింగ్ ప్రక్రియ కోసం భాగాలు, CVD ప్రక్రియ మొదలైన వాటి కోసం విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

ఘన SiC ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ యొక్క ఉత్పత్తి పరామితి

VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణం