VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ఒక ప్రముఖ సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము.VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ యొక్క బహుళ-పోరోసిటీ డిజైన్ CVD ప్రక్రియలో ఉత్పత్తి చేయబడిన వేడిని చెదరగొట్టేలా నిర్ధారిస్తుంది. , సబ్స్ట్రేట్ సమానంగా వేడి చేయబడిందని నిర్ధారిస్తుంది. చైనాలో మీతో దీర్ఘకాలికంగా ఏర్పాటు చేయడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది పరిశోధన, ఉత్పత్తి మరియు విక్రయాలకు అంకితమైన ఒక సమగ్ర సంస్థ. 20 సంవత్సరాల అనుభవంతో, మా బృందం SiC, TaC కోటింగ్లు మరియు CVD సాలిడ్ SiCలో ప్రత్యేకతను కలిగి ఉంది. సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ మా నుండి కొనుగోలు చేయడానికి స్వాగతం.
VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ సాధారణంగా సెమీకండక్టర్ CVD ప్రక్రియల సమయంలో ఉపరితల ఉపరితలంపై పూర్వగామి వాయువులను సమానంగా పంపిణీ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. షవర్ హెడ్ల కోసం CVD-SiC మెటీరియల్ని ఉపయోగించడం అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత CVD ప్రక్రియలో ఉత్పత్తి చేయబడిన వేడిని వెదజల్లడానికి సహాయపడుతుంది, ఉపరితలంపై ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. అదనంగా, CVD sic షవర్ హెడ్ యొక్క రసాయన స్థిరత్వం CVD ప్రక్రియలలో సాధారణంగా ఎదుర్కొనే తినివేయు వాయువులు మరియు కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా చేస్తుంది.
CVD SiC షవర్ హెడ్ల రూపకల్పన నిర్దిష్ట CVD సిస్టమ్లు మరియు ప్రాసెస్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. అయినప్పటికీ, అవి సాధారణంగా ఖచ్చితమైన-డ్రిల్డ్ రంధ్రాలు లేదా స్లాట్లతో కూడిన ప్లేట్ లేదా డిస్క్-ఆకారపు భాగాన్ని కలిగి ఉంటాయి. ఉపరితల ఉపరితలంపై ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ మరియు ప్రవాహ వేగాన్ని నిర్ధారించడానికి రంధ్రం నమూనా మరియు జ్యామితి జాగ్రత్తగా రూపొందించబడ్డాయి.
ఘన SiC యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |||
సాంద్రత | 3.21 | g/cm3 | |
విద్యుత్ నిరోధకత | 102 | Ω/సెం | |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ | 590 | MPa | (6000kgf/సెం.మీ2) |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
వికర్స్ కాఠిన్యం | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/కె | |
థర్మల్ కండక్టివిటీ(RT) | 250 | W/mK |