SiC పూత ALD ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్SiC పూత ALD ససెప్టర్పరమాణు పొర నిక్షేపణలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది (ALD) ప్రక్రియ. దాని ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ, ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ, అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత చలనచిత్ర నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపత మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది. మీరు మరింత తెలుసుకోవాలనుకుంటే, మీరు వెంటనే మమ్మల్ని సంప్రదించవచ్చు మరియు మేము మీకు సకాలంలో ప్రత్యుత్తరం ఇస్తాము!

ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ:

SiC పూత ALD ససెప్టర్ సాధారణంగా అధిక-ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వ్యవస్థను కలిగి ఉంటుంది. ఇది నిక్షేపణ ప్రక్రియ అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని నిర్వహించగలదు, ఇది చలనచిత్రం యొక్క ఏకరూపత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి కీలకమైనది.

ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ:

SiC కోటింగ్ ALD ససెప్టర్ యొక్క ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన డిజైన్ ALD నిక్షేపణ ప్రక్రియలో గ్యాస్ యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. దీని నిర్మాణం సాధారణంగా మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా రియాక్టివ్ వాయువుల యొక్క ఏకరీతి కవరేజీని ప్రోత్సహించడానికి బహుళ తిరిగే లేదా కదిలే భాగాలను కలిగి ఉంటుంది.

అధిక రసాయన నిరోధకత:

ALD ప్రక్రియలో వివిధ రకాల రసాయన వాయువులు ఉంటాయి కాబట్టి, రసాయన వాయువుల కోతను మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాల ప్రభావాన్ని నిరోధించడానికి SiC పూత ALD ససెప్టర్ సాధారణంగా తుప్పు-నిరోధక పదార్థాలతో (ప్లాటినం, సెరామిక్స్ లేదా అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వంటివి) తయారు చేయబడుతుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత:

వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించేందుకు మరియు స్థిరమైన నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి, SiC పూత ALD ససెప్టర్లు సాధారణంగా అధిక ఉష్ణ వాహకత పదార్థాలను ఉపయోగిస్తాయి. ఇది స్థానిక వేడెక్కడం మరియు అసమాన నిక్షేపణను నివారించడానికి సహాయపడుతుంది.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

ఉత్పత్తి దుకాణాలు:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం：