SiC సీలింగ్ పార్ట్

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో SiC సీలింగ్ పార్ట్ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. దాని అద్భుతమైన మెటీరియల్ లక్షణాలు మరియు నమ్మదగిన సీలింగ్ ప్రభావం ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడమే కాకుండా, ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు భద్రతను కూడా నిర్ధారిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సీలింగ్ పార్ట్ యొక్క ప్రధాన ప్రయోజనాలు:

అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత: అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలలో, VeTeksemi SiC సీలింగ్ పార్ట్ ఆమ్ల మరియు ఆల్కలీన్ పరిసరాలలో ఉత్తమ తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉండవచ్చు. ఈ అసమానమైన తుప్పు నిరోధకత SiC సీలింగ్ పార్ట్ రసాయనికంగా తినివేయు వాతావరణాలలో సమర్థవంతంగా పనిచేయగలదని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది తరచుగా తినివేయు పదార్ధాలకు బహిర్గతమయ్యే పరిశ్రమలలో ఒక అనివార్యమైన పదార్థంగా చేస్తుంది.

తేలికైన మరియు బలమైన: సిలికాన్ కార్బైడ్ సాంద్రత సుమారుగా 3.2 g/cm³, మరియు తేలికపాటి సిరామిక్ పదార్థం అయినప్పటికీ, సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క బలం వజ్రంతో పోల్చవచ్చు. తేలిక మరియు బలం యొక్క ఈ కలయిక మెకానికల్ భాగాల పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది, తద్వారా సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది మరియు డిమాండ్ చేసే పారిశ్రామిక అనువర్తనాల్లో దుస్తులు తగ్గిస్తుంది. SiC సీలింగ్ పార్ట్ యొక్క తేలికైన స్వభావం భాగాలను సులభంగా నిర్వహించడం మరియు ఇన్‌స్టాలేషన్ చేయడం కూడా సులభతరం చేస్తుంది.

చాలా అధిక కాఠిన్యం మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ మొహ్స్ కాఠిన్యం 9~10, వజ్రంతో పోల్చవచ్చు. ఈ లక్షణం, అధిక ఉష్ణ వాహకతతో కలిపి (గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద సుమారు 120-200 W/m·K), నాసిరకం పదార్థాలను దెబ్బతీసే పరిస్థితులలో SiC సీల్స్ పని చేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. SiC యొక్క అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు 1600°C వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్వహించబడతాయి, అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో కూడా SiC సీల్స్ దృఢంగా మరియు విశ్వసనీయంగా ఉండేలా చూస్తాయి.

అధిక కాఠిన్యం మరియు వేర్ రెసిస్టెన్స్: సిలికాన్ కార్బైడ్ దాని క్రిస్టల్ లాటిస్‌లో బలమైన సమయోజనీయ బంధాల ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది, ఇది అధిక కాఠిన్యం మరియు గణనీయమైన సాగే మాడ్యులస్‌ను ఇస్తుంది. ఈ లక్షణాలు అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతగా అనువదిస్తాయి, దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం తర్వాత కూడా వంగడం లేదా వైకల్యం యొక్క సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది. ఇది నిరంతర యాంత్రిక ఒత్తిడి మరియు రాపిడి పరిస్థితులకు లోబడి ఉండే SiC సీలింగ్ భాగాల కోసం SiCని అద్భుతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది.

రక్షిత సిలికాన్ డయాక్సైడ్ పొర నిర్మాణం: ఆక్సిజన్ అధికంగా ఉండే వాతావరణంలో సుమారు 1300°C ఉష్ణోగ్రతలకు గురైనప్పుడు, సిలికాన్ కార్బైడ్ రక్షిత సిలికాన్ డయాక్సైడ్ (SiO)ను ఏర్పరుస్తుంది.₂) దాని ఉపరితలంపై పొర. ఈ పొర ఒక అవరోధంగా పనిచేస్తుంది, తదుపరి ఆక్సీకరణ మరియు రసాయన పరస్పర చర్యలను నివారిస్తుంది. SiO గా₂పొర చిక్కగా ఉంటుంది, ఇది ఇతర ప్రతిచర్యల నుండి అంతర్లీన SiCని మరింత రక్షిస్తుంది. ఈ స్వీయ-పరిమితం చేసే ఆక్సీకరణ ప్రక్రియ SiCకి అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత మరియు స్థిరత్వాన్ని ఇస్తుంది, ఇది రియాక్టివ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి SiC సీల్‌లను అనుకూలంగా చేస్తుంది.

అధిక-పనితీరు గల అప్లికేషన్‌లలో బహుముఖ ప్రజ్ఞ:సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు వివిధ రకాల అధిక-పనితీరు గల అప్లికేషన్‌లలో బహుముఖంగా మరియు సమర్ధవంతంగా ఉంటాయి. మెకానికల్ సీల్స్ మరియు బేరింగ్‌ల నుండి హీట్ ఎక్స్ఛేంజర్స్ మరియు టర్బైన్ కాంపోనెంట్‌ల వరకు, SiC సీలింగ్ పార్ట్ విపరీతమైన పరిస్థితులను తట్టుకోగల సామర్థ్యం మరియు దాని సమగ్రతను అధునాతన ఇంజినీరింగ్ సొల్యూషన్‌లలో ఎంపిక చేసే పదార్థంగా చేస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అధునాతన సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి పరిష్కారాలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. అదనంగా, మా SiC ఉత్పత్తులు కూడా ఉన్నాయిసిలికాన్ కార్బైడ్ పూత, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్మరియుSiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియఉత్పత్తులు. మీ తదుపరి సంప్రదింపులకు స్వాగతం.

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క SEM డేటా：