VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేది ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఒక ముఖ్యమైన సిరామిక్ భాగం, ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్(CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) చెక్కే పరికరాలలో భాగాలు ఉన్నాయిఫోకస్ రింగ్స్, గ్యాస్ షవర్హెడ్, ట్రే, ఎడ్జ్ రింగులు, మొదలైనవి భాగాలు.
ఉదాహరణకు, ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర వెలుపల మరియు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంచబడిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం, రింగ్ గుండా వెళుతున్న ప్లాస్మాను ఫోకస్ చేయడానికి రింగ్కు వోల్టేజ్ని వర్తింపజేయడం ద్వారా, తద్వారా ప్లాస్మాను పొరపై కేంద్రీకరించడం ద్వారా ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ప్రాసెసింగ్. సాంప్రదాయ ఫోకస్ రింగ్ సిలికాన్ లేదా తయారు చేయబడిందిక్వార్ట్జ్, ఒక సాధారణ ఫోకస్ రింగ్ మెటీరియల్గా వాహక సిలికాన్, ఇది సిలికాన్ పొరల వాహకతకు దాదాపు దగ్గరగా ఉంటుంది, అయితే కొరత ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్లాస్మాలో పేలవమైన ఎచింగ్ రెసిస్టెన్స్, ఎచింగ్ మెషిన్ పార్ట్స్ మెటీరియల్లను తరచుగా కొంత కాలం పాటు ఉపయోగిస్తారు, తీవ్రమైన ఉంటుంది. తుప్పు దృగ్విషయం, దాని ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని తీవ్రంగా తగ్గిస్తుంది.
Sఒలిడ్ SiC ఫోకస్ రింగ్పని సూత్రం:
మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక:
మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక | ||
అంశం | మరియు | CVD SiC |
సాంద్రత (గ్రా/సెం3) | 2.33 | 3.21 |
బ్యాండ్ గ్యాప్ (eV) | 1.12 | 2.3 |
ఉష్ణ వాహకత (W/cm℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
సాగే మాడ్యులస్ (GPa) | 150 | 440 |
కాఠిన్యం (GPa) | 11.4 | 24.5 |
ధరించడానికి మరియు తుప్పుకు నిరోధకత | పేద | అద్భుతమైన |
VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం SiC ఫోకస్ చేసే రింగుల వంటి అధునాతన ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ (CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) భాగాలను అందిస్తుంది. మా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్లు యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు అయాన్ ఎచింగ్ నిరోధకత పరంగా సాంప్రదాయ సిలికాన్ను అధిగమిస్తాయి.
తగ్గిన ఎచింగ్ రేట్ల కోసం అధిక సాంద్రత.
అధిక బ్యాండ్గ్యాప్తో అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్.
అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం.
సుపీరియర్ మెకానికల్ ప్రభావ నిరోధకత మరియు స్థితిస్థాపకత.
అధిక కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత.
ఉపయోగించి తయారు చేస్తారుప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD)పద్ధతులు, మా SiC ఫోకస్ రింగ్లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎచింగ్ ప్రక్రియల పెరుగుతున్న డిమాండ్లను తీరుస్తాయి. అవి అధిక ప్లాస్మా శక్తి మరియు శక్తిని తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయికెపాసిటివ్ కపుల్డ్ ప్లాస్మా (CCP)వ్యవస్థలు.
VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC ఫోకస్ రింగ్లు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. అత్యుత్తమ నాణ్యత మరియు సామర్థ్యం కోసం మా SiC భాగాలను ఎంచుకోండి.