TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్

చైనాలో TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్ ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ తయారీదారుగా, VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్‌లు MOCVD పరికరాలలో ముఖ్యమైన భాగాలు, ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన గ్యాస్ డెలివరీని నిర్ధారిస్తాయి మరియు సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలలో ఇది ఒక అనివార్యమైన పదార్థం. మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి స్వాగతం.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్ యొక్క ఫంక్షన్:

ఖచ్చితమైన గ్యాస్ ప్రవాహ నియంత్రణ: దిTaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్యొక్క గ్యాస్ ఇంజెక్షన్ వ్యవస్థలో వ్యూహాత్మకంగా ఉంచబడిందిMOCVD రియాక్టర్. పూర్వగామి వాయువుల ప్రవాహాన్ని నిర్దేశించడం మరియు ఉపరితల పొర ఉపరితలం అంతటా వాటి ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారించడం దీని ప్రాథమిక విధి. ఏకరీతి ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదల మరియు కావలసిన పదార్థ లక్షణాలను సాధించడానికి గ్యాస్ ఫ్లో డైనమిక్స్‌పై ఈ ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం.

థర్మల్ మేనేజ్మెంట్: TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్‌లు తరచుగా వేడిచేసిన ససెప్టర్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్‌కి సామీప్యత కారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పనిచేస్తాయి. TaC యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత వేడిని ప్రభావవంతంగా వెదజల్లడంలో సహాయపడుతుంది, స్థానికీకరించిన వేడెక్కడాన్ని నిరోధించడం మరియు ప్రతిచర్య జోన్‌లో స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత ప్రొఫైల్‌ను నిర్వహించడం.

MOCVDలో TaC యొక్క ప్రయోజనాలు:

విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: TaC అన్ని పదార్థాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన బిందువులలో ఒకటి, 3800°C కంటే ఎక్కువ.

అత్యుత్తమ రసాయన జడత్వం: అమ్మోనియా, సిలేన్ మరియు వివిధ లోహ-సేంద్రీయ సమ్మేళనాలు వంటి MOCVDలో ఉపయోగించే రియాక్టివ్ పూర్వగామి వాయువుల నుండి తుప్పు మరియు రసాయన దాడికి TaC అసాధారణమైన ప్రతిఘటనను ప్రదర్శిస్తుంది.

యొక్క భౌతిక లక్షణాలుTaC పూత:

యొక్క భౌతిక లక్షణాలుTaC పూత
సాంద్రత	14.3 (గ్రా/సెం³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత	0.3
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం	6.3*10^-6/కె
కాఠిన్యం (HK)	2000 HK
ప్రతిఘటన	1×10^-5ఓం*సెం
ఉష్ణ స్థిరత్వం	<2500℃
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది	-10~-20um
పూత మందం	≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)

MOCVD పనితీరు కోసం ప్రయోజనాలు:

MOCVD పరికరాలలో VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్ ఉపయోగం దీనికి గణనీయంగా దోహదం చేస్తుంది:

పెరిగిన సామగ్రి సమయము: TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్ యొక్క మన్నిక మరియు పొడిగించిన జీవితకాలం తరచుగా భర్తీ చేయవలసిన అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది, నిర్వహణ పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు MOCVD సిస్టమ్ యొక్క కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది.

మెరుగైన ప్రక్రియ స్థిరత్వం: TaC యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన జడత్వం MOCVD చాంబర్‌లో మరింత స్థిరమైన మరియు నియంత్రిత ప్రతిచర్య వాతావరణానికి దోహదం చేస్తుంది, ప్రక్రియ వైవిధ్యాలను తగ్గిస్తుంది మరియు పునరుత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

మెరుగైన ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ ఏకరూపత: TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్ ద్వారా సులభతరం చేయబడిన ఖచ్చితమైన గ్యాస్ ప్రవాహ నియంత్రణ ఏకరీతి పూర్వగామి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, ఫలితంగా అత్యంత ఏకరీతిగా ఉంటుందిఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలస్థిరమైన మందం మరియు కూర్పుతో.

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూతమైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్ సెక్షన్‌పై:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

హాట్ ట్యాగ్‌లు: TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్, తయారీదారు, సరఫరాదారు, MOCVD కోసం TaC కోటింగ్ రింగ్, అనుకూలీకరించిన, TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్, మన్నికైనది, చైనాలో తయారు చేయబడింది.

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం