TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) అనే అత్యంత అధునాతన సాంకేతికతను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్ భాగాలపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూతను వర్తింపజేయడం ద్వారా సృష్టించబడింది. ఈ పద్ధతి బాగా స్థిరపడింది మరియు అసాధారణమైన పూత లక్షణాలను అందిస్తుంది. TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, గ్రాఫైట్ భాగాల జీవితకాలం గణనీయంగా పొడిగించబడుతుంది, గ్రాఫైట్ మలినాలు యొక్క కదలికను అణచివేయవచ్చు మరియు SiC మరియు AIN సింగిల్ క్రిస్టల్ నాణ్యతను విశ్వసనీయంగా నిర్వహించవచ్చు. మమ్మల్ని విచారణకు స్వాగతం.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ ఒక ప్రొఫెషనల్ చైనా TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్, TaC కోటింగ్ క్రూసిబుల్, సీడ్ హోల్డర్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు.

SiC మరియు AIN సింగిల్ క్రిస్టల్ ఫర్నేస్‌లో TaC కోటింగ్ క్రూసిబుల్, సీడ్ హోల్డర్ మరియు TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్ PVT పద్ధతి ద్వారా పెంచబడ్డాయి.

SiCని సిద్ధం చేయడానికి భౌతిక ఆవిరి రవాణా పద్ధతి (PVT)ని ఉపయోగించినప్పుడు, సీడ్ క్రిస్టల్ సాపేక్షంగా తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ప్రాంతంలో ఉంటుంది మరియు SiC ముడి పదార్థం సాపేక్షంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రాంతంలో (2400 ℃ పైన) ఉంటుంది. ముడి పదార్థం కుళ్ళిపోవడం SiXCy (ప్రధానంగా Si, SiC₂, Si₂C, మొదలైనవి సహా) ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఆవిరి దశ పదార్థం అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రాంతం నుండి తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ప్రాంతంలోని సీడ్ క్రిస్టల్‌కు రవాణా చేయబడుతుంది మరియు న్యూక్లియేట్ అవుతుంది మరియు పెరుగుతుంది. ఒకే క్రిస్టల్‌ను ఏర్పరచడానికి. క్రూసిబుల్, ఫ్లో గైడ్ రింగ్, సీడ్ క్రిస్టల్ హోల్డర్ వంటి ఈ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే థర్మల్ ఫీల్డ్ మెటీరియల్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రతకు నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి మరియు SiC ముడి పదార్థాలు మరియు SiC సింగిల్ క్రిస్టల్‌లను కలుషితం చేయవు. అదేవిధంగా, AlN సింగిల్ స్ఫటికాల పెరుగుదలలో హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్ అల్ ఆవిరి, N₂ తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి మరియు క్రిస్టల్ తయారీ వ్యవధిని తగ్గించడానికి అధిక యూటెక్టిక్ ఉష్ణోగ్రత (మరియు AlN) కలిగి ఉండాలి.

TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ థర్మల్ ఫీల్డ్ మెటీరియల్స్ తయారుచేసిన SiC మరియు AlN లు క్లీనర్‌గా ఉన్నాయని, దాదాపు కార్బన్ (ఆక్సిజన్, నైట్రోజన్) మరియు ఇతర మలినాలను, తక్కువ అంచు లోపాలు, ప్రతి ప్రాంతంలో చిన్న రెసిస్టివిటీ మరియు మైక్రోపోర్ డెన్సిటీ మరియు ఎచింగ్ పిట్ డెన్సిటీ ఉన్నాయని కనుగొనబడింది. గణనీయంగా తగ్గింది (KOH ఎచింగ్ తర్వాత), మరియు క్రిస్టల్ నాణ్యత బాగా మెరుగుపడింది. అదనంగా, TaC క్రూసిబుల్ బరువు నష్టం రేటు దాదాపు సున్నా, ప్రదర్శన నాన్-డిస్ట్రక్టివ్, రీసైకిల్ చేయవచ్చు (200h వరకు జీవితం), అటువంటి సింగిల్ క్రిస్టల్ తయారీ యొక్క స్థిరత్వం మరియు సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

TaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్ యొక్క ఉత్పత్తి పరామితి:

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
సాంద్రత	14.3 (గ్రా/సెం³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత	0.3
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం	6.3 10-6/K
కాఠిన్యం (HK)	2000 HK
ప్రతిఘటన	1×10-5 ఓం*సెం
ఉష్ణ స్థిరత్వం	<2500℃
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది	-10~-20um
పూత మందం	≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)