సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత హీటర్

VeTek సెమీకండక్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ అనేది అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన వాతావరణాల కోసం రూపొందించబడిన హీటర్. ఇది పరికరాలకు అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతను అందించడానికి హీటింగ్ ఎలిమెంట్ యొక్క ఉపరితలంపై సిలికాన్ కార్బన్ సిరామిక్ కోటింగ్ (SiC) పొరను పూస్తుంది. 

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత హీటర్వాక్యూమ్ కోటింగ్ (బాష్పీభవన) పరికరాలలో ప్రధానంగా ఉపయోగించబడుతుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే పద్ధతులు PCD (ప్లాస్మా కెమికల్ డ్రైయింగ్) మరియు PVD (భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ), ఇవి సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ఇతర అధిక-డిమాండ్ పారిశ్రామిక అనువర్తనాల్లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ యొక్క అధిక-పనితీరు గల పూత రూపకల్పనతో కలిపి,ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలకు అద్భుతమైన తాపన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: SiC పదార్థం అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంది, హీటర్ పని చేసే ప్రాంతంలో ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని సాధించగలదని మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలను తగ్గించగలదని నిర్ధారిస్తుంది.

ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందించండి: సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ హీటింగ్ ప్రాంతం అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని సాధించడానికి SiC పదార్థం యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకతను ఉపయోగిస్తుంది. రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP), వ్యాప్తి మరియు ఆక్సీకరణ వంటి వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో సెమీకండక్టర్ పొరల యొక్క ఏకరీతి వేడి చికిత్సను నిర్ధారించడానికి, స్థానిక వేడెక్కడం లేదా అసమాన ఉష్ణోగ్రత వలన ఉత్పాదక లోపాలను నివారించడం చాలా కీలకం.

అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం: SiC పూత వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియలకు అనుకూలం, సాధారణంగా 1600°C వరకు అత్యంత అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకునేలా హీటర్‌ను అనుమతిస్తుంది.

వేడి నిరోధకతను మెరుగుపరచండి: పూత చాలా అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు కాబట్టి, దీర్ఘకాలిక అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేషన్ అవసరమయ్యే ప్రక్రియలలో ఇది బాగా పనిచేస్తుంది. ఉదాహరణకు, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియలలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పరికరాల యొక్క దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన ఆపరేషన్‌ను నిర్ధారిస్తుంది మరియు స్థిరమైన తాపన పనితీరును నిర్వహిస్తుంది, తద్వారా ప్రక్రియ పునరావృతం మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరుస్తుంది.

రసాయన తుప్పు నిరోధకత: SiC పూత యాసిడ్, క్షారాలు మరియు తినివేయు వాయువులకు చాలా అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు సంక్లిష్ట రసాయన వాతావరణ వాతావరణంలో చాలా కాలం పాటు స్థిరంగా ఉండి, పరికరాల జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. 

పరికరాల జీవితాన్ని పొడిగించడం: SiC పూత అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయనిక కోతను మరియు ఆక్సీకరణను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఇది చాలా కీలకం, ముఖ్యంగా తినివేయు వాయువులు మరియు రసాయనాలను నిర్వహించే వాతావరణంలో. పూత యొక్క రక్షిత ప్రభావం హీటర్ యొక్క సేవ జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది మరియు పరికరాల భర్తీ మరియు నిర్వహణ ఖర్చుల ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ దుకాణాలు:

VeTek సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం: