సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత గ్రాఫైట్ హీటర్

VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్గ్రాఫైట్ యొక్క అద్భుతమైన విద్యుత్ మరియు ఉష్ణ వాహకతను అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు సిలికాన్ కార్బన్ సిరామిక్ పూత యొక్క దుస్తులు నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది మరియు కఠినమైన సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిసరాల కోసం రూపొందించబడింది. 

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత గ్రాఫైట్ హీటర్వాక్యూమ్ కోటింగ్ (బాష్పీభవనం) పరికరాలలో ప్రధానంగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సాధారణంగా ఉపయోగించే పద్ధతులు PCD (ప్లాస్మా కెమికల్ డ్రైయింగ్) మరియు PVD (భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ). సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో సాంకేతిక పురోగతిని ప్రోత్సహించడంలో మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడంలో ఈ ఉత్పత్తి ముఖ్యమైన పాత్ర పోషించింది.మేము మీతో మరింత సహకారం కోసం హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తున్నాము.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క మెటీరియల్ మరియు నిర్మాణ లక్షణాలు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్: గ్రాఫైట్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం కోసం ప్రసిద్ధి చెందింది. ఇది ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు త్వరగా స్పందించగలదు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలదు.

సిలికాన్ కార్బన్ సిరామిక్ పూత: SiC పూత రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ లేదా ఇతర అధునాతన ప్రక్రియల ద్వారా గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై సమానంగా పూత పూయబడుతుంది. SiC చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు తినివేయు వాతావరణాల నుండి రక్షించగలదు.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క ప్రత్యేక ఉత్పత్తి నిర్మాణ రూపకల్పన నిర్ణయిస్తుందిసెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియలో ఈ ఉత్పత్తి యొక్క భర్తీ చేయలేని ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు:

సమర్థవంతమైన మరియు ఏకరీతి తాపన:

ఉష్ణ వాహకత: గ్రాఫైట్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత హీటర్‌ను త్వరగా చేరుకోవడానికి మరియు అవసరమైన ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది, మరియు SiC పూత వేడి యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) వంటి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత: యూనిఫాం హీట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ద్వారా, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ థర్మల్ ఒత్తిడిని మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతను ప్రభావవంతంగా తగ్గిస్తుంది, తాపన ప్రక్రియ అంతటా సెమీకండక్టర్ పొరల స్థిరత్వం మరియు నాణ్యత స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

వ్యతిరేక తుప్పు రక్షణ:

రసాయన నిరోధకత: SiC పూత యొక్క రసాయన తుప్పు నిరోధకత హీటర్‌ను స్థిరంగా మరియు తినివేయు వాయువు మరియు రసాయన పరిసరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయడానికి అనుమతిస్తుంది, గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌కు నష్టం జరగకుండా చేస్తుంది. రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ప్లాస్మా మెరుగుపరచబడిన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD) వంటి ప్రక్రియలలో ఈ లక్షణం ముఖ్యంగా కీలకం.

ఆక్సీకరణ నిరోధకత: అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద, SiC పూత గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఆక్సీకరణను నిరోధించగలదు, హీటర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు పరికరాల నిర్వహణ యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీ మరియు వ్యయాన్ని తగ్గిస్తుంది.

కణాల కాలుష్యాన్ని తగ్గించండి:

ఉపరితల స్థిరత్వం: SiC పూత ధరించడం-నిరోధకత మాత్రమే కాకుండా, థర్మల్ సైక్లింగ్ లేదా రసాయన ప్రతిచర్యల కారణంగా పదార్థ ఉపరితలంపై కణాలు పడకుండా నిరోధిస్తుంది, తద్వారా సెమీకండక్టర్ తయారీ సమయంలో సంభవించే కణాల కాలుష్యం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు అధిక-పరిశుభ్రత ప్రక్రియ వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

ప్రక్రియ విశ్వసనీయత మరియు సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి:

లాంగ్ లైఫ్ డిజైన్: గ్రాఫైట్ యొక్క యాంత్రిక బలం మరియు SiC పూత యొక్క వేర్ రెసిస్టెన్స్ కలయిక కారణంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ కఠినమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులలో చాలా కాలం పాటు అధిక-సామర్థ్య ఆపరేషన్‌ను నిర్వహించగలదు, ఇది పరికరాల మొత్తం విశ్వసనీయతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

సమర్థవంతమైన శక్తి వినియోగం: గ్రాఫైట్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు SiC పూత యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరిచేటప్పుడు శక్తి వినియోగాన్ని తగ్గించడానికి హీటర్‌ను అనుమతిస్తుంది, తద్వారా సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్:

VeTek సెమీకండక్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్దుకాణాలు:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం:

/ ఇతర ప్రక్రియ