ప్రీ-హీట్ రింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలోని SiC కోటింగ్ తయారీదారు యొక్క ఆవిష్కర్త. VeTek సెమీకండక్టర్ అందించిన ప్రీ-హీట్ రింగ్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది. ఏకరీతి సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత మరియు అధిక-ముగింపు గ్రాఫైట్ మెటీరియల్ ముడి పదార్థాలు స్థిరమైన నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తాయి మరియు ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ యొక్క నాణ్యత మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తాయి. మేము మీతో దీర్ఘకాలిక సహకారాన్ని ఏర్పాటు చేయడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ప్రీ-హీట్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎపిటాక్సియల్ (EPI) ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన కీలకమైన పరికరం. ఇది EPI ప్రక్రియకు ముందు పొరలను వేడి చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల అంతటా ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ ద్వారా తయారు చేయబడిన, మా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అనేక ముఖ్యమైన ఫీచర్లు మరియు ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. మొదట, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత పదార్థాలను ఉపయోగించి నిర్మించబడింది, ఇది పొర ఉపరితలంపై వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ బదిలీని అనుమతిస్తుంది. ఇది హాట్‌స్పాట్‌లు మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలు ఏర్పడకుండా నిరోధిస్తుంది, స్థిరమైన నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యత మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది.

అదనంగా, మా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అధునాతన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వ్యవస్థను కలిగి ఉంది, ఇది ప్రీ-హీట్ ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన నియంత్రణను అనుమతిస్తుంది. ఈ స్థాయి నియంత్రణ EPI ప్రక్రియలో క్రిస్టల్ గ్రోత్, మెటీరియల్ డిపాజిషన్ మరియు ఇంటర్‌ఫేస్ రియాక్షన్‌ల వంటి కీలకమైన దశల యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు పునరావృతతను పెంచుతుంది.

మన్నిక మరియు విశ్వసనీయత మా ఉత్పత్తి రూపకల్పనలో ముఖ్యమైన అంశాలు. EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు ఆపరేటింగ్ ఒత్తిళ్లను తట్టుకునేలా నిర్మించబడింది, ఎక్కువ కాలం పాటు స్థిరత్వం మరియు పనితీరును నిర్వహిస్తుంది. ఈ డిజైన్ విధానం నిర్వహణ మరియు భర్తీ ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది, దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయత మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ యొక్క ఇన్‌స్టాలేషన్ మరియు ఆపరేషన్ సూటిగా ఉంటాయి, ఎందుకంటే ఇది సాధారణ EPI పరికరాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఇది వినియోగదారు-స్నేహపూర్వక పొర ప్లేస్‌మెంట్ మరియు రిట్రీవల్ మెకానిజం, సౌలభ్యం మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము నిర్దిష్ట కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చడానికి అనుకూలీకరణ సేవలను కూడా అందిస్తాము. ప్రత్యేకమైన ఉత్పత్తి అవసరాలకు అనుగుణంగా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ యొక్క పరిమాణం, ఆకారం మరియు ఉష్ణోగ్రత పరిధిని టైలరింగ్ చేయడం ఇందులో ఉంటుంది.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ మరియు సెమీకండక్టర్ డివైస్ ప్రొడక్షన్‌లో పాల్గొన్న పరిశోధకులు మరియు తయారీదారుల కోసం, VeTek సెమీకండక్టర్ ద్వారా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అసాధారణమైన పనితీరు మరియు నమ్మకమైన మద్దతును అందిస్తుంది. ఇది అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధిని సాధించడంలో మరియు సమర్థవంతమైన సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీ ప్రక్రియలను సులభతరం చేయడంలో కీలకమైన సాధనంగా పనిచేస్తుంది.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg-1·K-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m-1·K-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10-6K-1