VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలోని ప్రముఖ కస్టమైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వేఫర్ క్యారియర్ సరఫరాదారు. మేము 20 సంవత్సరాలకు పైగా అధునాతన మెటీరియల్లో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. SiC సబ్స్ట్రేట్ను మోసుకెళ్లేందుకు, SiC ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లో పెరుగుతున్న SiC ఎపిటాక్సీ లేయర్ని మేము అందిస్తున్నాము. ఈ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వేఫర్ క్యారియర్ హాఫ్మూన్ భాగం, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఆక్సీకరణ నిరోధకత, దుస్తులు నిరోధకత యొక్క ముఖ్యమైన SiC పూతతో కూడిన భాగం. చైనాలోని మా ఫ్యాక్టరీని సందర్శించడానికి మేము మిమ్మల్ని స్వాగతిస్తున్నాము.
ప్రొఫెషనల్ తయారీదారుగా, మేము మీకు అధిక నాణ్యత గల సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వేఫర్ క్యారియర్ను అందించాలనుకుంటున్నాము.
VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వేఫర్ క్యారియర్లు ప్రత్యేకంగా SiC ఎపిటాక్సియల్ ఛాంబర్ కోసం రూపొందించబడ్డాయి. వారు విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్నారు మరియు వివిధ పరికరాల నమూనాలకు అనుకూలంగా ఉంటారు.
అప్లికేషన్ దృశ్యం:
VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వేఫర్ క్యారియర్లు ప్రధానంగా SiC ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదల ప్రక్రియలో ఉపయోగించబడతాయి. ఈ ఉపకరణాలు SiC ఎపిటాక్సీ రియాక్టర్ లోపల ఉంచబడతాయి, ఇక్కడ అవి SiC సబ్స్ట్రేట్లతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలోకి వస్తాయి. ఎపిటాక్సియల్ పొరల కోసం క్లిష్టమైన పారామితులు మందం మరియు డోపింగ్ ఏకాగ్రత ఏకరూపత. అందువల్ల, ఫిల్మ్ మందం, క్యారియర్ ఏకాగ్రత, ఏకరూపత మరియు ఉపరితల కరుకుదనం వంటి డేటాను పరిశీలించడం ద్వారా మేము మా ఉపకరణాల పనితీరు మరియు అనుకూలతను అంచనా వేస్తాము.
వాడుక:
పరికరాలు మరియు ప్రక్రియపై ఆధారపడి, మా ఉత్పత్తులు 6-అంగుళాల హాఫ్ మూన్ కాన్ఫిగరేషన్లో కనీసం 5000 um ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ మందాన్ని సాధించగలవు. ఈ విలువ సూచనగా పనిచేస్తుంది మరియు వాస్తవ ఫలితాలు మారవచ్చు.
అనుకూలమైన సామగ్రి నమూనాలు:
VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH మరియు ఇతర వాటితో సహా వివిధ పరికరాల నమూనాలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
క్రిస్టల్ నిర్మాణం | FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్ |
సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెం³ |
కాఠిన్యం | 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్) |
ధాన్యం పరిమాణం | 2~10μm |
రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 J·kg-1·K-1 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃ |
ఉష్ణ వాహకత | 300W·m-1·K-1 |
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |