MOCVD ససెప్టర్ గురించి మీకు తెలుసా?

లోహ-సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) ప్రక్రియలో, పొరకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఖచ్చితమైన నియంత్రణను నిర్ధారించడానికి ససెప్టర్ ఒక ముఖ్య భాగం. దాని పదార్థ ఎంపిక మరియు ఉత్పత్తి లక్షణాలు నేరుగా ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వాన్ని మరియు ఉత్పత్తి యొక్క నాణ్యతను ప్రభావితం చేస్తాయి.

MOCVD గ్రహీత(మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలకమైన ప్రక్రియ భాగం. ఇది ప్రధానంగా MOCVD (మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియలో సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసం పొరకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు వేడి చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. తుది ఉత్పత్తి యొక్క ఏకరూపత, సామర్థ్యం మరియు నాణ్యతకు ససెప్టర్ రూపకల్పన మరియు మెటీరియల్ ఎంపిక కీలకం.

ఉత్పత్తి రకం మరియు మెటీరియల్ ఎంపిక:

MOCVD ససెప్టర్ యొక్క డిజైన్ మరియు మెటీరియల్ ఎంపిక విభిన్నంగా ఉంటాయి, సాధారణంగా ప్రక్రియ అవసరాలు మరియు ప్రతిచర్య పరిస్థితుల ద్వారా నిర్ణయించబడతాయి.కిందివి సాధారణ ఉత్పత్తి రకాలు మరియు వాటి పదార్థాలు:

SiC కోటెడ్ ససెప్టర్(సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్):

వివరణ: SiC పూతతో కూడిన ససెప్టర్, గ్రాఫైట్ లేదా ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత పదార్థాలను సబ్‌స్ట్రేట్‌గా మరియు CVD SiC పూత (CVD SiC కోటింగ్) ఉపరితలంపై దాని దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను మెరుగుపరుస్తుంది.

అప్లికేషన్: అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అత్యంత తినివేయు వాయువు పరిసరాలలో MOCVD ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ డిపాజిషన్‌లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

TaC కోటెడ్ ససెప్టర్:

వివరణ: ప్రధాన పదార్థంగా TaC పూత (CVD TaC కోటింగ్) ఉన్న ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు చాలా తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.

అప్లికేషన్: గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) మరియు గాలియం ఆర్సెనైడ్ (GaAs) నిక్షేపణ వంటి అధిక తుప్పు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే MOCVD ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది.

MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్:

వివరణ: సబ్‌స్ట్రేట్ గ్రాఫైట్, మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరత్వం మరియు సుదీర్ఘ జీవితాన్ని నిర్ధారించడానికి ఉపరితలం CVD SiC పూతతో కప్పబడి ఉంటుంది.

అప్లికేషన్: అధిక-నాణ్యత సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ పదార్థాలను తయారు చేయడానికి Aixtron MOCVD రియాక్టర్‌ల వంటి పరికరాలలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలం.

EPI రిసెప్టర్ (ఎపిటాక్సీ రిసెప్టర్):

వివరణ: ససెప్టర్ ప్రత్యేకంగా ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ కోసం రూపొందించబడింది, సాధారణంగా SiC కోటింగ్ లేదా TaC కోటింగ్‌తో దాని ఉష్ణ వాహకత మరియు మన్నికను మెరుగుపరుస్తుంది.

అప్లికేషన్: సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీలో, ఇది పొరల యొక్క ఏకరీతి వేడి మరియు నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో MOCVD కోసం ససెప్టర్ యొక్క ప్రధాన పాత్ర:

పొర మద్దతు మరియు ఏకరీతి తాపన:

ఫంక్షన్: MOCVD రియాక్టర్లలో పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి ససెప్టర్ ఉపయోగించబడుతుంది మరియు ఏకరీతి ఫిల్మ్ నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి ఇండక్షన్ హీటింగ్ లేదా ఇతర పద్ధతుల ద్వారా ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందిస్తుంది.

ఉష్ణ వాహకత మరియు స్థిరత్వం:

ఫంక్షన్: ససెప్టర్ పదార్థాల యొక్క ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం కీలకమైనవి. SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ మరియు TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ వాటి అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత కారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో స్థిరత్వాన్ని కొనసాగించగలవు, అసమాన ఉష్ణోగ్రత వలన ఏర్పడే చలనచిత్ర లోపాలను నివారించవచ్చు.

తుప్పు నిరోధకత మరియు దీర్ఘ జీవితం:

ఫంక్షన్: MOCVD ప్రక్రియలో, ససెప్టర్ వివిధ రసాయన పూర్వగామి వాయువులకు గురవుతుంది. SiC కోటింగ్ మరియు TaC పూత అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తాయి, మెటీరియల్ ఉపరితలం మరియు ప్రతిచర్య వాయువు మధ్య పరస్పర చర్యను తగ్గిస్తాయి మరియు ససెప్టర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తాయి.

ప్రతిచర్య వాతావరణం యొక్క ఆప్టిమైజేషన్:

ఫంక్షన్: అధిక-నాణ్యత సస్సెప్టర్‌లను ఉపయోగించడం ద్వారా, MOCVD రియాక్టర్‌లోని గ్యాస్ ఫ్లో మరియు ఉష్ణోగ్రత ఫీల్డ్ ఆప్టిమైజ్ చేయబడి, ఏకరీతి ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ప్రక్రియను నిర్ధారిస్తుంది మరియు పరికరం యొక్క దిగుబడి మరియు పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది. ఇది సాధారణంగా MOCVD రియాక్టర్లు మరియు Aixtron MOCVD పరికరాల కోసం ససెప్టర్లలో ఉపయోగించబడుతుంది.

ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు సాంకేతిక ప్రయోజనాలు：

అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం:

లక్షణాలు: SiC మరియు TaC కోటెడ్ ససెప్టర్లు చాలా ఎక్కువ ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి, త్వరగా మరియు సమానంగా వేడిని పంపిణీ చేయగలవు మరియు పొరల యొక్క ఏకరీతి వేడిని నిర్ధారించడానికి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలవు.

ప్రయోజనాలు: గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) మరియు గాలియం ఆర్సెనైడ్ (GaAs) వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల వంటి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరమయ్యే MOCVD ప్రక్రియలకు అనుకూలం.

అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత:

లక్షణాలు: CVD SiC పూత మరియు CVD TaC పూత చాలా ఎక్కువ రసాయన జడత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు క్లోరైడ్లు మరియు ఫ్లోరైడ్‌లు వంటి అత్యంత తినివేయు వాయువుల నుండి తుప్పును నిరోధించగలవు, ససెప్టర్ యొక్క ఉపరితలం దెబ్బతినకుండా కాపాడుతుంది.

ప్రయోజనాలు: ససెప్టర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగించండి, నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గించండి మరియు MOCVD ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి.

అధిక యాంత్రిక బలం మరియు కాఠిన్యం:

ఫీచర్లు: SiC మరియు TaC పూత యొక్క అధిక కాఠిన్యం మరియు యాంత్రిక బలం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడన వాతావరణాలలో యాంత్రిక ఒత్తిడిని తట్టుకోవడానికి మరియు దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్వహించడానికి ససెప్టర్‌ని అనుమతిస్తుంది.

ప్రయోజనాలు: ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ వంటి అధిక ఖచ్చితత్వం అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకంగా సరిపోతుంది.

మార్కెట్ అప్లికేషన్ మరియు అభివృద్ధి అవకాశాలు

MOCVD ససెప్టర్లుఅధిక-ప్రకాశవంతమైన LEDలు, పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు (GaN-ఆధారిత HEMTలు వంటివి), సౌర ఘటాలు మరియు ఇతర ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. అధిక పనితీరు మరియు తక్కువ విద్యుత్ వినియోగ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం పెరుగుతున్న డిమాండ్‌తో, MOCVD సాంకేతికత అభివృద్ధి చెందుతూనే ఉంది, ససెప్టర్ మెటీరియల్‌లు మరియు డిజైన్‌లలో ఆవిష్కరణలను ప్రోత్సహిస్తుంది. ఉదాహరణకు, అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ లోపం సాంద్రతతో SiC పూత సాంకేతికతను అభివృద్ధి చేయడం మరియు పెద్ద పొరలు మరియు మరింత సంక్లిష్టమైన బహుళ-పొర ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు అనుగుణంగా ససెప్టర్ యొక్క నిర్మాణ రూపకల్పనను ఆప్టిమైజ్ చేయడం.

VeTek సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ కో., LTD సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అధునాతన పూత పదార్థాలను అందించే ప్రముఖ ప్రొవైడర్. పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై మా కంపెనీ దృష్టి సారిస్తోంది.

మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) కోటింగ్‌లు, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) కోటింగ్‌లు, బల్క్ SiC, SiC పౌడర్‌లు మరియు హై-ప్యూరిటీ SiC మెటీరియల్‌లు, SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, ప్రీహీట్ రింగ్‌లు, TaC కోటెడ్ డైవర్షన్ రింగ్, హాఫ్‌మూన్ పార్ట్‌లు మొదలైనవి ఉన్నాయి. ., స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువగా ఉంది, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి అభివృద్ధి పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై దృష్టి పెడుతుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.