TaC కోటింగ్ అంటే ఏమిటి?

TaC కోటింగ్ (టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్) అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన అధిక-పనితీరు గల పూత పదార్థం. తీవ్రమైన పరిస్థితులలో TaC పూత యొక్క అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ముఖ్యంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు బలమైన తినివేయు వాతావరణం అవసరమయ్యే పరికరాలు మరియు భాగాలలో. TaC పూత సాధారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత, తినివేయు వాయువులు మరియు యాంత్రిక దుస్తులు దెబ్బతినకుండా ఉపరితలాలను (గ్రాఫైట్ లేదా సిరామిక్స్ వంటివి) రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు

అత్యంత అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం:

ఫీచర్ వివరణ: TaC పూత 3880°C కంటే ఎక్కువ ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో కుళ్ళిపోకుండా లేదా రూపాంతరం చెందకుండా స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

ప్రయోజనం: ఇది CVD TaC కోటింగ్ మరియు TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో ఇది ఒక అనివార్యమైన పదార్థంగా చేస్తుంది, ముఖ్యంగా Aixtron G5 పరికరాలు వంటి MOCVD రియాక్టర్‌లలోని అప్లికేషన్‌లకు.

అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత:

ఫీచర్ వివరణ: TaC చాలా బలమైన రసాయన జడత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు క్లోరైడ్‌లు మరియు ఫ్లోరైడ్‌ల వంటి తినివేయు వాయువుల కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు.

ప్రయోజనాలు: అధిక తినివేయు రసాయనాలతో కూడిన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, TaC పూత రసాయన దాడి నుండి పరికరాల భాగాలను రక్షిస్తుంది, సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది, ముఖ్యంగా సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్ మరియు ఇతర కీలక భాగాల అప్లికేషన్‌లో.

అద్భుతమైన యాంత్రిక కాఠిన్యం:

ఫీచర్ వివరణ: TaC పూత యొక్క కాఠిన్యం 9-10 మొహ్‌ల వరకు ఉంటుంది, ఇది మెకానికల్ దుస్తులు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత ఒత్తిడికి నిరోధకతను కలిగిస్తుంది.

అడ్వాంటేజ్: అధిక కాఠిన్యం ఆస్తి TaC కోటింగ్‌ను అధిక దుస్తులు మరియు అధిక ఒత్తిడి వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా చేస్తుంది, కఠినమైన పరిస్థితులలో పరికరాల దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.

తక్కువ రసాయన ప్రతిచర్య:

ఫీచర్ వివరణ: దాని రసాయన జడత్వం కారణంగా, TaC పూత అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో తక్కువ క్రియాశీలతను నిర్వహించగలదు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులతో అనవసరమైన రసాయన ప్రతిచర్యలను నివారించగలదు.

ప్రయోజనం: సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఇది చాలా ముఖ్యమైనది ఎందుకంటే ఇది ప్రక్రియ పర్యావరణం యొక్క స్వచ్ఛతను మరియు పదార్థాల అధిక-నాణ్యత నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో TaC కోటింగ్ పాత్ర

కీ పరికరాల భాగాలను రక్షించడం:

ఫంక్షన్ వివరణ: TaC పూత విపరీతమైన పరిస్థితుల్లో పని చేయడానికి అవసరమైన TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ వంటి సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాల యొక్క కీలక భాగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. TaCతో పూత పూయడం ద్వారా, ఈ భాగాలు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువు పరిసరాలలో ఎక్కువ కాలం పనిచేయగలవు.

పరికరాల జీవితాన్ని పొడిగించండి:

ఫంక్షన్ వివరణ: Aixtron G5 వంటి MOCVD పరికరాలలో, TaC కోటింగ్ పరికరాల భాగాల మన్నికను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది మరియు తుప్పు మరియు దుస్తులు కారణంగా పరికరాల నిర్వహణ మరియు భర్తీ అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది.

ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచండి:

ఫంక్షన్ వివరణ: సెమీకండక్టర్ తయారీలో, TaC కోటింగ్ స్థిరమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన వాతావరణాన్ని అందించడం ద్వారా నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) వంటి ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల ప్రక్రియలలో ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

ప్రక్రియ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి:

ఫంక్షన్ వివరణ: పరికరాల ఉపరితలంపై పూతను ఆప్టిమైజ్ చేయడం ద్వారా, TaC కోటింగ్ ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది, లోపం రేటును తగ్గిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని పెంచుతుంది. అధిక-ఖచ్చితమైన, అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సెమీకండక్టర్ పదార్థాల తయారీకి ఇది కీలకం.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ సమయంలో TaC పూత ద్వారా ప్రదర్శించబడే అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం, అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత, మెకానికల్ కాఠిన్యం మరియు తక్కువ రసాయన ప్రతిచర్య సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాల భాగాలను రక్షించడానికి ఇది ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక స్వచ్ఛత మరియు సమర్థవంతమైన ఉత్పాదక ప్రక్రియల కోసం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క డిమాండ్ పెరుగుతూనే ఉన్నందున, TaC కోటింగ్ విస్తృత అప్లికేషన్ అవకాశాలను కలిగి ఉంది, ముఖ్యంగా CVD TaC కోటింగ్, TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ మరియు Aixtron G5తో కూడిన పరికరాలు మరియు ప్రక్రియలలో.

VeTek సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ కో., LTD సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అధునాతన పూత పదార్థాలను అందించే ప్రముఖ ప్రొవైడర్. పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై మా కంపెనీ దృష్టి సారిస్తోంది.

మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) కోటింగ్‌లు, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) కోటింగ్‌లు, బల్క్ SiC, SiC పౌడర్‌లు మరియు హై-ప్యూరిటీ SiC మెటీరియల్‌లు, SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, ప్రీహీట్ రింగ్‌లు, TaC కోటెడ్ డైవర్షన్ రింగ్, హాఫ్‌మూన్ పార్ట్‌లు మొదలైనవి ఉన్నాయి. ., స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువగా ఉంది, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి అభివృద్ధి పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై దృష్టి పెడుతుంది.చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.