EPI గ్రహీత

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క EPI ససెప్టర్ డిమాండ్ ఉన్న ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల అప్లికేషన్‌ల కోసం రూపొందించబడింది. దాని అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, స్థిరమైన ఎపిటాక్సియల్ పొర మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం ఏకరీతి ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు దీర్ఘకాలిక రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. మేము మీతో సహకరించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ ఒక ప్రొఫెషనల్ లీడర్ చైనా EPI రిసీవర్, ALD ప్లానెటరీ రిసీవర్ మరియు TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రిసీవర్ తయారీదారు. మరియు మా EPI ససెప్టర్ ఒక ముఖ్యమైన భాగంఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలసెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో. దీని ప్రధాన విధి పొరకు మద్దతు ఇవ్వడం మరియు వేడి చేయడం, తద్వారా అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పొరను పొర ఉపరితలంపై ఏకరీతిలో పెంచవచ్చు.

VeTek సెమీకండక్టర్స్ యొక్క EPI ససెప్టర్లు సాధారణంగా అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడతాయి మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొరతో పూత ఉంటాయి.ఈ డిజైన్ క్రింది కీలక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది:

● అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: EPI ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉండి, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరీతి పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది.

● తుప్పు నిరోధకత: SiC పూత అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు రసాయన వాయువుల కోతను నిరోధించగలదు, ట్రే యొక్క సేవ జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

● ఉష్ణ వాహకత: SiC పదార్థం యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత తాపన సమయంలో పొర యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

● థర్మల్ విస్తరణ గుణకం సరిపోలిక: SiC యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం గ్రాఫైట్ మాదిరిగానే ఉంటుంది, ఉష్ణ విస్తరణ మరియు సంకోచం కారణంగా పూత షెడ్డింగ్ సమస్యను నివారిస్తుంది.