EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ కోసం ఒక ప్రొఫెషనల్ తయారీదారు, సరఫరాదారు మరియు ఎగుమతిదారు. వృత్తిపరమైన బృందం మరియు ప్రముఖ సాంకేతికత ద్వారా మద్దతు ఇవ్వబడిన VeTek సెమీకండక్టర్ మీకు సరసమైన ధరలకు అధిక నాణ్యతను అందిస్తుంది. తదుపరి చర్చ కోసం మా ఫ్యాక్టరీని సందర్శించడానికి మేము మిమ్మల్ని స్వాగతిస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది అనేక సంవత్సరాల అనుభవంతో EPI కోసం ప్రధానంగా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను ఉత్పత్తి చేసే చైనా తయారీదారు & సరఫరాదారు. మీతో వ్యాపార సంబంధాన్ని ఏర్పరచుకోవాలని ఆశిస్తున్నాను. EPI (ఎపిటాక్సీ) అనేది అధునాతన సెమీకండక్టర్ల తయారీలో ఒక క్లిష్టమైన ప్రక్రియ. ఇది సంక్లిష్టమైన పరికర నిర్మాణాలను రూపొందించడానికి ఒక ఉపరితలంపై పదార్థం యొక్క పలుచని పొరల నిక్షేపణను కలిగి ఉంటుంది. EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను సాధారణంగా EPI రియాక్టర్‌లలో వాటి అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు నిరోధకత కారణంగా ససెప్టర్లుగా ఉపయోగిస్తారు. CVD-SiC పూతతో, ఇది కాలుష్యం, కోత మరియు థర్మల్ షాక్‌కు మరింత నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. ఇది ససెప్టర్‌కు ఎక్కువ జీవితకాలం మరియు మెరుగైన ఫిల్మ్ క్వాలిటీకి దారి తీస్తుంది.

మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రయోజనాలు:

తగ్గిన కాలుష్యం: SiC యొక్క జడ స్వభావం మలినాలను ససెప్టర్ ఉపరితలంపై అంటుకోకుండా నిరోధిస్తుంది, డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్‌ల కాలుష్య ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

పెరిగిన ఎరోషన్ రెసిస్టెన్స్: SiC సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ కంటే కోతకు చాలా ఎక్కువ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ససెప్టర్‌కు ఎక్కువ జీవితకాలం దారితీస్తుంది.

మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వం: SiC అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంది మరియు గణనీయమైన వక్రీకరణ లేకుండా అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.

మెరుగైన ఫిల్మ్ క్వాలిటీ: మెరుగైన థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు తగ్గిన కాలుష్యం ఫలితంగా మెరుగైన ఏకరూపత మరియు మందం నియంత్రణతో అధిక-నాణ్యత డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్‌లు ఏర్పడతాయి.

అప్లికేషన్లు:

SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్లు వివిధ EPI అప్లికేషన్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిలో:

GaN-ఆధారిత LEDలు

పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్

ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు

హై-ఫ్రీక్వెన్సీ ట్రాన్సిస్టర్లు

సెన్సార్లు

SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ఉత్పత్తి పరామితి

ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	యూనిట్	సాధారణ విలువ
బల్క్ డెన్సిటీ	g/cm³	1.83
కాఠిన్యం	HSD	58
ఎలక్ట్రికల్ రెసిస్టివిటీ	mΩ.m	10
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	MPa	47
సంపీడన బలం	MPa	103
తన్యత బలం	MPa	31
యంగ్స్ మాడ్యులస్	GPa	11.8
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	10-6K-1	4.6
ఉష్ణ వాహకత	W·m-1·K-1	130
సగటు ధాన్యం పరిమాణం	μm	8-10
సచ్ఛిద్రత	%	10
బూడిద నమూనా	ppm	≤10 (శుద్ధి చేసిన తర్వాత)

గమనిక: పూతకు ముందు, మేము మొదటి శుద్దీకరణ చేస్తాము, పూత తర్వాత, రెండవ శుద్ధి చేస్తాము.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg-1·K-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m-1·K-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణం

హాట్ ట్యాగ్‌లు: EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది.

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం