ఉత్పత్తులు
CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్
  • CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్

CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్

Vetek సెమీకండక్టర్ యొక్క CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్‌లు సెమీకండక్టర్ తయారీ సమయంలో సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలను డిపాజిట్ చేయడానికి LPE SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగాలు. కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ పరిసరాలలో స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ఈ నాజిల్‌లు సాధారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయనికంగా స్థిరంగా ఉండే సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థంతో తయారు చేయబడతాయి. ఏకరీతి నిక్షేపణ కోసం రూపొందించబడింది, అవి సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌లలో పెరిగిన ఎపిటాక్సియల్ లేయర్‌ల నాణ్యత మరియు ఏకరూపతను నియంత్రించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి.మీతో దీర్ఘకాలిక సహకారాన్ని ఏర్పాటు చేయడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది CVD SiC కోటింగ్ హాఫ్‌మూన్ భాగాలు మరియు దాని అనుబంధమైన CVD SiC కోటింగ్ నోజెల్స్ వంటి ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల కోసం CVD SiC కోటింగ్ ఉపకరణాల ప్రత్యేక తయారీదారు. మమ్మల్ని విచారించడానికి స్వాగతం.


PE1O8 అనేది పూర్తిగా ఆటోమేటిక్ కాట్రిడ్జ్‌ల నుండి క్యాట్రిడ్జ్‌ల సిస్టమ్‌ను నిర్వహించడానికి రూపొందించబడిందిSiC పొరలు200mm వరకు. ఆకృతిని 150 మరియు 200 mm మధ్య మార్చవచ్చు, సాధనం పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది. తాపన దశల తగ్గింపు ఉత్పాదకతను పెంచుతుంది, అయితే ఆటోమేషన్ శ్రమను తగ్గిస్తుంది మరియు నాణ్యత మరియు పునరావృతతను మెరుగుపరుస్తుంది. సమర్థవంతమైన మరియు ఖర్చుతో కూడిన పోటీ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియను నిర్ధారించడానికి, మూడు ప్రధాన అంశాలు నివేదించబడ్డాయి: 


●  వేగవంతమైన ప్రక్రియ;

●  అధిక ఏకరూపత మందం మరియు డోపింగ్;

●  ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో లోపం ఏర్పడటాన్ని తగ్గించడం. 


PE1O8లో, చిన్న గ్రాఫైట్ ద్రవ్యరాశి మరియు ఆటోమేటిక్ లోడ్/అన్‌లోడ్ సిస్టమ్ ప్రామాణిక పరుగును 75 నిమిషాల కంటే తక్కువ సమయంలో పూర్తి చేయడానికి అనుమతిస్తాయి (ప్రామాణిక 10μm షాట్కీ డయోడ్ సూత్రీకరణ 30μm/h వృద్ధి రేటును ఉపయోగిస్తుంది). ఆటోమేటిక్ సిస్టమ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద లోడ్ / అన్‌లోడ్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. ఫలితంగా, తాపన మరియు శీతలీకరణ సమయాలు తక్కువగా ఉంటాయి, అయితే బేకింగ్ దశ నిరోధించబడుతుంది. ఈ ఆదర్శ పరిస్థితి నిజమైన అన్‌డోప్డ్ మెటీరియల్‌ల పెరుగుదలను అనుమతిస్తుంది.


సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో, ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదల మరియు నాణ్యతలో CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్‌లు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. నాజిల్ పాత్ర యొక్క విస్తృత వివరణ ఇక్కడ ఉందిసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ:


CVD SiC Coating Nozzle working diagram

● గ్యాస్ సరఫరా మరియు నియంత్రణ: సిలికాన్ సోర్స్ గ్యాస్ మరియు కార్బన్ సోర్స్ గ్యాస్‌తో సహా ఎపిటాక్సీ సమయంలో అవసరమైన గ్యాస్ మిశ్రమాన్ని అందించడానికి నాజిల్‌లు ఉపయోగించబడతాయి. నాజిల్ ద్వారా, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరీతి పెరుగుదల మరియు కావలసిన రసాయన కూర్పును నిర్ధారించడానికి గ్యాస్ ప్రవాహం మరియు నిష్పత్తులను ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.


● ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ: ఎపిటాక్సీ రియాక్టర్‌లోని ఉష్ణోగ్రతను నియంత్రించడంలో నాజిల్‌లు కూడా సహాయపడతాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీలో, ఉష్ణోగ్రత వృద్ధి రేటు మరియు క్రిస్టల్ నాణ్యతను ప్రభావితం చేసే కీలకమైన అంశం. నాజిల్ ద్వారా వేడి లేదా శీతలీకరణ వాయువును అందించడం ద్వారా, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క పెరుగుదల ఉష్ణోగ్రత సరైన వృద్ధి పరిస్థితుల కోసం సర్దుబాటు చేయబడుతుంది.


● గ్యాస్ ప్రవాహ పంపిణీ: నాజిల్ రూపకల్పన రియాక్టర్ లోపల గ్యాస్ యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని ప్రభావితం చేస్తుంది. ఏకరీతి గ్యాస్ ప్రవాహ పంపిణీ ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరూపతను మరియు స్థిరమైన మందాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, పదార్థం నాణ్యత కాని ఏకరూపతకు సంబంధించిన సమస్యలను నివారిస్తుంది.


● అశుద్ధ కాలుష్యం నివారణ: నాజిల్ యొక్క సరైన రూపకల్పన మరియు ఉపయోగం ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో అపరిశుభ్రత కాలుష్యాన్ని నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది. తగిన నాజిల్ డిజైన్ రియాక్టర్‌లోకి బాహ్య మలినాలను ప్రవేశించే సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.


CVD SIC కోటింగ్ ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:


CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) 4.5×10-6K-1


VeTekSemCVD SiC కోటింగ్ నాజిల్‌లుఉత్పత్తి దుకాణాలు:


Graphite epitaxial substrateSemiconductor EquipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

హాట్ ట్యాగ్‌లు: CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, SiC కోటెడ్ నాజిల్, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది.
సంబంధిత వర్గం
విచారణ పంపండి
దయచేసి దిగువ ఫారమ్‌లో మీ విచారణను ఇవ్వడానికి సంకోచించకండి. మేము మీకు 24 గంటల్లో ప్రత్యుత్తరం ఇస్తాము.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept