VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం రూపొందించబడిన ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ సాధనం. ఈ SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ సన్నని ఫిల్మ్లు, ఎపిలేయర్లు మరియు ఇతర పూతలను వృద్ధి చేయడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత మరియు పదార్థ లక్షణాలను ఖచ్చితంగా నియంత్రించగలదు. మీ తదుపరి విచారణలకు స్వాగతం.
CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ ఒక రకంMOCVD LED ఎపి ససెప్టర్, ఇది CVD రియాక్టర్లో ప్రధాన పాత్ర పోషిస్తుంది. ఎపి ససెప్టర్గా, ఇది హీట్ సోర్స్ మాత్రమే కాదు, డిపాజిషన్ ప్రక్రియ సమయంలో సబ్స్ట్రేట్కు స్థిరమైన సపోర్ట్ ప్లాట్ఫారమ్ను కూడా అందిస్తుంది.SiC పూతఅధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క ఆక్సీకరణ మరియు కలుషితాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గించవచ్చు, తద్వారా డిపాజిట్ చేయబడిన పదార్థం యొక్క అధిక స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది.
ప్రాథమికCVD SiC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు:
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి
సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం
FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత
3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం
2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం
2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత
99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం
640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత
2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్
415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్
430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత
300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)
4.5×10-6K-1
CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు:
● ఖచ్చితమైన నిక్షేపణ: CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్తో, మీరు అధిక-నాణ్యత మరియు పునరావృత ఫలితాలను పొందేందుకు సన్నని ఫిల్మ్లు మరియు పూతలను ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.
● తగ్గిన కాలుష్యం: SiC పూత కాలుష్యం యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుందిఎపి సుసెప్టర్గ్రాఫైట్ ఆధారంగా, డిపాజిట్ చేయబడిన పదార్థం యొక్క స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది.
● మన్నిక: SiC పూత గ్రాఫైట్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ యొక్క ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను పెంచుతుంది, ఇది సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని మరియు అధిక విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది.
VeTek సెమీకండక్టర్ అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులు మరియు పోటీ ధరలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. అది ఉన్నాEPI రిసీవర్ అయితేలేదా అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ EPI ససెప్టర్, మేము మీ అవసరాలను తీర్చగలము. మేము చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండటానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
VeTek సెమీకండక్టర్CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణాలు: