CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలోని CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మా CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ దాని అద్భుతమైన ఉత్పత్తి లక్షణాలతో పొరలపై సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను ప్రోత్సహించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. మీ తదుపరి సంప్రదింపులకు స్వాగతం.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ కోసం రూపొందించబడిందిఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలుసెమీకండక్టర్ తయారీలో మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరచడానికి ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. ఈ SiC కోటింగ్ బారెల్ ససెప్టర్ బేస్ ఒక ఘన గ్రాఫైట్ నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది మరియు దీని ద్వారా ఖచ్చితంగా SiC పొరతో పూత పూయబడిందిCVD ప్రక్రియ, ఇది అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో కఠినమైన వాతావరణాన్ని సమర్థవంతంగా ఎదుర్కోగలదు.

VeTek సెమీకండక్టర్ CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

● ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి ఏకరీతి తాపన: SiC పూత యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత పొర యొక్క ఉపరితలంపై ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, లోపాలను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.

● బేస్ యొక్క సేవ జీవితాన్ని విస్తరించండి: దిSiC పూతఅద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది బేస్ యొక్క సేవ జీవితాన్ని సమర్థవంతంగా పొడిగిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.

● ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి: బారెల్ డిజైన్ పొర లోడింగ్ మరియు అన్‌లోడ్ ప్రక్రియను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

● వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ పదార్థాలకు వర్తిస్తుంది: ఈ ఆధారాన్ని వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించవచ్చుSiCమరియుGaN.

CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రయోజనాలు:

●అద్భుతమైన థర్మల్ పనితీరు: అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.

●తుప్పు నిరోధకత: SiC పూత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువు యొక్క కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు, బేస్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

●అధిక బలం: ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి గ్రాఫైట్ బేస్ ఘన మద్దతును అందిస్తుంది.

●అనుకూలీకరించిన సేవ: VeTek సెమీకండక్టర్ వివిధ ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చడానికి కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించిన సేవలను అందిస్తుంది.

CVD SIC కోటింగ్ ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క SEM డేటా:

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg^-1·కె^-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m^-1·కె^-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek సెమీకండక్టర్ CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ దుకాణాలు:

Graphite epitaxial substrate Semiconductor Equipment Graphite ring assembly Semiconductor process equipment

హాట్ ట్యాగ్‌లు: CVD SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది.

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం