VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ను అందజేస్తుంది, దాని అసాధారణమైన TaC కోటింగ్తో, ఈ ససెప్టర్ అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, ఇది సాంప్రదాయిక పరిష్కారాల నుండి వేరుగా ఉంటుంది. ఇప్పటికే ఉన్న సిస్టమ్లలో సజావుగా అనుసంధానం చేయడం, VeTek సెమీకండక్టర్ నుండి TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ అనుకూలత మరియు సమర్థవంతమైన పనితీరుకు హామీ ఇస్తుంది. దాని నమ్మదగిన పనితీరు మరియు అధిక-నాణ్యత కలిగిన TaC పూత SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలలో అసాధారణమైన ఫలితాలను స్థిరంగా అందజేస్తుంది. మేము పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్నాము మరియు చైనాలో మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా ఉండటానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ మరియు రింగ్ LPE సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ రియాక్టర్లో కలిసి పని చేస్తాయి:
అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉంది, LPE రియాక్టర్లో 1500°C వరకు ఉన్న తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు. దీర్ఘకాలిక ఆపరేషన్ సమయంలో పరికరాలు మరియు భాగాలు వైకల్యం చెందకుండా లేదా దెబ్బతినకుండా ఇది నిర్ధారిస్తుంది.
రసాయన స్థిరత్వం: TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ తినివేయు సిలికాన్ కార్బైడ్ పెరుగుదల వాతావరణంలో అనూహ్యంగా బాగా పని చేస్తుంది, రియాక్టర్ భాగాలను తినివేయు రసాయన దాడి నుండి సమర్థవంతంగా కాపాడుతుంది, తద్వారా వారి సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
థర్మల్ స్టెబిలిటీ: TaC కోటింగ్ ససెప్టర్ మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంది, రియాక్టర్లోని ఉష్ణోగ్రత క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి ఉపరితల స్వరూపం మరియు కరుకుదనాన్ని నిర్వహిస్తుంది, ఇది సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ పొరల యొక్క అధిక-నాణ్యత పెరుగుదలకు ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది.
యాంటీ-కాలుష్యం: మృదువైన TaC పూతతో కూడిన ఉపరితలం మరియు ఉన్నతమైన TPD (ఉష్ణోగ్రత ప్రోగ్రామ్ చేయబడిన నిర్జలీకరణం) పనితీరు రియాక్టర్ లోపల కణాలు మరియు మలినాలను చేరడం మరియు శోషణం చేయడాన్ని తగ్గిస్తుంది, ఎపిటాక్సియల్ పొరల కాలుష్యాన్ని నివారిస్తుంది.
సారాంశంలో, LPE సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ రియాక్టర్లో TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ మరియు రింగ్ కీలకమైన రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి, ఇది పరికరాల దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన ఆపరేషన్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొరల యొక్క అధిక-నాణ్యత పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది.
TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
సాంద్రత | 14.3 (గ్రా/సెం³) |
నిర్దిష్ట ఉద్గారత | 0.3 |
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం | 6.3 10-6/K |
కాఠిన్యం (HK) | 2000 HK |
ప్రతిఘటన | 1×10-5 ఓం*సెం |
ఉష్ణ స్థిరత్వం | <2500℃ |
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది | -10~-20um |
పూత మందం | ≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |