TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్‌కు VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ కీలకమైన భాగం. దానిTaC కోమాఅద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం (3880 ° C వరకు ద్రవీభవన స్థానం), రసాయన స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత, ఇది పొర ప్రాసెసింగ్‌లో అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.

TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ (టాంటాలమ్ కార్బన్ కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్) అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే కీలకమైన పరికరాల భాగం. ఇది సాధారణంగా ఇన్‌స్టాల్ చేయబడుతుందిరసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD)మరియు మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE) పరికరాలు ఏకరీతి పదార్థ నిక్షేపణ మరియు సమర్థవంతమైన ప్రతిచర్యను నిర్ధారించడానికి పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు తిప్పడానికి. ఈ రకమైన ఉత్పత్తి సబ్‌స్ట్రేట్‌ను పూత చేయడం ద్వారా అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో పరికరాల సేవా జీవితాన్ని మరియు పనితీరును గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది.టాంటాలమ్ కార్బన్ (TaC) పూత.

TaC కోటింగ్ రొటేషన్ సస్సెప్టర్ సాధారణంగా TaC పూత మరియు గ్రాఫైట్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్‌ను సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌గా కలిగి ఉంటుంది. TaC అనేది చాలా ఎక్కువ ద్రవీభవన స్థానం (3880°C వరకు ద్రవీభవన స్థానం), కాఠిన్యం (వికర్స్ కాఠిన్యం సుమారు 2000 HK) మరియు అద్భుతమైన రసాయన తుప్పు నిరోధకత కలిగిన అతి-అధిక ఉష్ణోగ్రత సిరామిక్ పదార్థం. VeTek సెమీకండక్టర్ CVD టెక్నాలజీ ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌పై టాంటాలమ్ కార్బన్ కోటింగ్‌ను సమర్థవంతంగా మరియు సమానంగా కవర్ చేస్తుంది.

రొటేషన్ ససెప్టర్ సాధారణంగా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం కలిగిన పదార్థాలతో తయారు చేయబడుతుంది (గ్రాఫైట్ లేదాసిలికాన్ కార్బైడ్), ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో మంచి యాంత్రిక మద్దతు మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. వేఫర్‌లను సపోర్టింగ్ చేయడంలో మరియు తిప్పడంలో TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ యొక్క ఖచ్చితమైన పనితీరును రెండింటి యొక్క ఖచ్చితమైన కలయిక నిర్ణయిస్తుంది.

TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ CVD ప్రక్రియలో పొరను సపోర్ట్ చేస్తుంది మరియు తిప్పుతుంది. TaC యొక్క వికర్స్ కాఠిన్యం దాదాపు 2000 HK, ఇది పదార్థం యొక్క పదేపదే ఘర్షణను నిరోధించడానికి మరియు మంచి సహాయక పాత్రను పోషించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, తద్వారా ప్రతిచర్య వాయువు పొర ఉపరితలంపై సమానంగా పంపిణీ చేయబడుతుంది మరియు పదార్థం సమానంగా జమ చేయబడుతుంది. అదే సమయంలో, TaC పూత యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో చాలా కాలం పాటు ఉపయోగించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, ఇది పొర మరియు క్యారియర్ యొక్క కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది.

అంతేకాకుండా, TaC యొక్క ఉష్ణ వాహకత 21 W/m·K, ఇది మంచి ఉష్ణ బదిలీని కలిగి ఉంటుంది. అందువల్ల, TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో పొరను సమానంగా వేడి చేస్తుంది మరియు భ్రమణ చలనం ద్వారా గ్యాస్ నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా స్థిరత్వం మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్వహిస్తుందిపొర పెరుగుదల.

మైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్-సెక్షన్‌పై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత：

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు：

TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ దుకాణాలు: