VeTek సెమీకండక్టర్'TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్ అనేది Aixtron ఎపిటాక్సీ పరికరాల కోసం ఒక అసాధారణమైన ఉత్పత్తి. బలమైన TaC పూత అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన జడత్వాన్ని అందిస్తుంది. ఈ ప్రత్యేకమైన కలయిక డిమాండ్ వాతావరణంలో కూడా విశ్వసనీయ పనితీరు మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. VeTek అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను అందించడానికి మరియు పోటీ ధరలతో చైనీస్ మార్కెట్లో దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా సేవలందించడానికి కట్టుబడి ఉంది.
సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో, TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఇది Aixtron G5 సిస్టమ్ వంటి పరికరాలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇంకా, SiC ఎపిటాక్సీ కోసం టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత నిక్షేపణలో బాహ్య డిస్క్గా ఉపయోగించినప్పుడు, TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్ అవసరమైన మద్దతు మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ఇది టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పొర యొక్క ఏకరీతి నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తుంది, అద్భుతమైన ఉపరితల స్వరూపం మరియు కావలసిన ఫిల్మ్ మందంతో అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పొరల ఏర్పాటుకు దోహదం చేస్తుంది. TaC పూత యొక్క రసాయన జడత్వం అవాంఛిత ప్రతిచర్యలు మరియు కాలుష్యాన్ని నిరోధిస్తుంది, ఎపిటాక్సియల్ పొరల సమగ్రతను కాపాడుతుంది మరియు వాటి అత్యుత్తమ నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.
TaC పూత యొక్క అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీని అనుమతిస్తుంది, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని ప్రోత్సహిస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల ప్రక్రియలో ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది. ఇది మెరుగైన స్ఫటికాకార లక్షణాలు మరియు మెరుగైన విద్యుత్ వాహకతతో అధిక-నాణ్యత గల SiC ఎపిటాక్సియల్ పొరల ఉత్పత్తికి దారితీస్తుంది.
TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ డిస్క్ యొక్క ఖచ్చితమైన కొలతలు మరియు దృఢమైన నిర్మాణం ఇప్పటికే ఉన్న సిస్టమ్లలో ఏకీకృతం చేయడాన్ని సులభతరం చేస్తుంది, అతుకులు లేని అనుకూలత మరియు సమర్థవంతమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. దాని విశ్వసనీయ పనితీరు మరియు అధిక-నాణ్యత TaC పూత SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలలో స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి ఫలితాలకు దోహదం చేస్తుంది.
SiC ఎపిటాక్సీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయత కోసం VeTek సెమీకండక్టర్ మరియు మా TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ డిస్క్ను విశ్వసించండి. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో సాంకేతిక పురోగతిలో మిమ్మల్ని అగ్రగామిగా నిలిపి, మా వినూత్న పరిష్కారాల ప్రయోజనాలను అనుభవించండి.
TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
సాంద్రత | 14.3 (గ్రా/సెం³) |
నిర్దిష్ట ఉద్గారత | 0.3 |
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం | 6.3 10-6/K |
కాఠిన్యం (HK) | 2000 HK |
ప్రతిఘటన | 1×10-5 ఓం*సెం |
ఉష్ణ స్థిరత్వం | <2500℃ |
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది | -10~-20um |
పూత మందం | ≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |