TaC కోటింగ్ చక్

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క TaC కోటింగ్ చక్ SiC EPI ప్రక్రియలో అసాధారణమైన ఫలితాలను సాధించడానికి అనువైన పరిష్కారం. దాని TaC పూత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన జడత్వంతో, మా ఉత్పత్తి ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతతో అధిక-నాణ్యత స్ఫటికాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి మీకు అధికారం ఇస్తుంది. మమ్మల్ని విచారించడానికి స్వాగతం.

TaC (టాంటాలమ్ కార్బైడ్) అనేది ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల అంతర్గత భాగాల ఉపరితలంపై పూత పూయడానికి సాధారణంగా ఉపయోగించే పదార్థం. ఇది క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంది:

● అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: TaC పూతలు 2200°C వరకు ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలవు, ఇవి ఎపిటాక్సియల్ రియాక్షన్ ఛాంబర్‌ల వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో అనువర్తనాలకు అనువైనవిగా ఉంటాయి.

● అధిక కాఠిన్యం: TaC యొక్క కాఠిన్యం దాదాపు 2000 HKకి చేరుకుంటుంది, ఇది సాధారణంగా ఉపయోగించే స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ లేదా అల్యూమినియం మిశ్రమం కంటే చాలా కష్టం, ఇది ఉపరితల దుస్తులను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు.

● బలమైన రసాయన స్థిరత్వం: TaC పూత రసాయనికంగా తినివేయు వాతావరణాలలో బాగా పని చేస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల భాగాల సేవా జీవితాన్ని బాగా పొడిగించగలదు.

● మంచి విద్యుత్ వాహకత: TaC పూత మంచి విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ విడుదల మరియు ఉష్ణ వాహకతకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఈ లక్షణాలు TaC పూతను అంతర్గత బుషింగ్‌లు, రియాక్షన్ ఛాంబర్ గోడలు మరియు ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల కోసం హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్ వంటి క్లిష్టమైన భాగాలను తయారు చేయడానికి ఆదర్శవంతమైన పదార్థంగా చేస్తాయి. ఈ భాగాలను TaCతో పూయడం ద్వారా, ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల మొత్తం పనితీరు మరియు సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు.

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ కోసం, TaC కోటింగ్ భాగం కూడా ఒక ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది. TaC యొక్క ఉపరితలం పూత మృదువైనది మరియు దట్టమైనది, ఇది అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్‌ల ఏర్పాటుకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. అదే సమయంలో, TaC యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత పరికరాలు లోపల ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ యొక్క ఏకరూపతను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ యొక్క ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు చివరికి అధిక నాణ్యత గల సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలను సాధించవచ్చు.