TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ గ్రాఫైట్ భాగాల ఉపరితలంపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూతను సిద్ధం చేయడానికి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) పద్ధతిని ఉపయోగిస్తుంది. ఈ ప్రక్రియ అత్యంత పరిణతి చెందినది మరియు ఉత్తమ పూత లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ గ్రాఫైట్ భాగాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగించగలదు, గ్రాఫైట్ మలినాలను తరలించడాన్ని నిరోధిస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సీ నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ మీ విచారణ కోసం ఎదురుచూస్తోంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

తాజా విక్రయాలు, తక్కువ ధర మరియు అధిక-నాణ్యత కలిగిన TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్‌ను కొనుగోలు చేయడానికి మా ఫ్యాక్టరీ VeTek సెమీకండక్టర్‌కి రావడానికి మీకు స్వాగతం. మేము మీతో సహకరించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

3880℃ వరకు టాంటాలమ్ కార్బైడ్ సిరామిక్ మెటీరియల్ మెల్టింగ్ పాయింట్, అధిక ద్రవీభవన స్థానం మరియు సమ్మేళనం యొక్క మంచి రసాయన స్థిరత్వం, దాని అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణం ఇప్పటికీ స్థిరమైన పనితీరును కలిగి ఉంటుంది, అదనంగా, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, రసాయన తుప్పు నిరోధకత, మంచి రసాయనికతను కలిగి ఉంటుంది. మరియు కార్బన్ పదార్థాలు మరియు ఇతర లక్షణాలతో మెకానికల్ అనుకూలత, ఇది ఆదర్శ గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రొటెక్టివ్ కోటింగ్ మెటీరియల్‌గా మారుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత వేడి అమ్మోనియా, హైడ్రోజన్ మరియు సిలికాన్ ఆవిరి మరియు కరిగిన లోహం ప్రభావం నుండి గ్రాఫైట్ భాగాలను ప్రభావవంతంగా రక్షించగలదు, ఇది గ్రాఫైట్ భాగాల సేవా జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది మరియు గ్రాఫైట్‌లోని మలినాలను తరలించడాన్ని నిరోధిస్తుంది, ఎపిటాక్సీ మరియు క్రిస్టల్ పెరుగుదల నాణ్యతను నిర్ధారించడం. ఇది ప్రధానంగా తడి సిరామిక్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించబడుతుంది.

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) అనేది గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత కోసం అత్యంత పరిణతి చెందిన మరియు సరైన తయారీ పద్ధతి.

TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ కోసం CVD TaC కోటింగ్ విధానం:

పూత ప్రక్రియ TaCl5 మరియు ప్రొపైలిన్‌లను వరుసగా కార్బన్ మూలం మరియు టాంటాలమ్ మూలంగా ఉపయోగిస్తుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత గ్యాసిఫికేషన్ తర్వాత రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోకి టాంటాలమ్ పెంటాక్లోరైడ్ ఆవిరిని తీసుకురావడానికి ఆర్గాన్ క్యారియర్ గ్యాస్‌గా ఉపయోగిస్తుంది. లక్ష్య ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం కింద, పూర్వగామి పదార్థం యొక్క ఆవిరి గ్రాఫైట్ భాగం యొక్క ఉపరితలంపై శోషించబడుతుంది మరియు కార్బన్ మూలం మరియు టాంటాలమ్ మూలం యొక్క విచ్ఛిన్నం మరియు కలయిక వంటి సంక్లిష్ట రసాయన ప్రతిచర్యల శ్రేణి ఏర్పడుతుంది. అదే సమయంలో, పూర్వగామి యొక్క వ్యాప్తి మరియు ఉప-ఉత్పత్తుల నిర్జలీకరణం వంటి ఉపరితల ప్రతిచర్యల శ్రేణి కూడా పాల్గొంటుంది. చివరగా, గ్రాఫైట్ భాగం యొక్క ఉపరితలంపై దట్టమైన రక్షిత పొర ఏర్పడుతుంది, ఇది తీవ్రమైన పర్యావరణ పరిస్థితులలో స్థిరంగా ఉండకుండా గ్రాఫైట్ భాగాన్ని రక్షిస్తుంది. గ్రాఫైట్ పదార్థాల అప్లికేషన్ దృశ్యాలు గణనీయంగా విస్తరించబడ్డాయి.

TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క ఉత్పత్తి పరామితి:

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
సాంద్రత	14.3 (గ్రా/సెం³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత	0.3
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం	6.3 10-6/K
కాఠిన్యం (HK)	2000 HK
ప్రతిఘటన	1×10-5 ఓం*సెం
ఉష్ణ స్థిరత్వం	<2500℃
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది	-10~-20um
పూత మందం	≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)

ఉత్పత్తి దుకాణాలు:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం:

హాట్ ట్యాగ్‌లు: TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం