SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్

VeTeK సెమీకండక్టర్ SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది MOCVD ప్రక్రియలో కీలక భాగం. అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ ఆధారంగా, అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకతను అందించడానికి ఉపరితలం అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూతతో పూత చేయబడింది. అధిక నాణ్యత మరియు అత్యంత అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి సేవలతో, VeTeK సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ MOCVD ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. VeTeK సెమీకండక్టర్ మీ భాగస్వామి కావడానికి ఎదురుచూస్తోంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

MOCVD అనేది సెమీకండక్టర్, ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ మరియు మైక్రోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. MOCVD సాంకేతికత ద్వారా, అధిక-నాణ్యత సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ ఫిల్మ్‌లను సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై (సిలికాన్, నీలమణి, సిలికాన్ కార్బైడ్ మొదలైనవి) జమ చేయవచ్చు.

MOCVD పరికరాలలో, SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లో ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన తాపన వాతావరణాన్ని అందిస్తుంది, ఇది గ్యాస్ ఫేజ్ రసాయన ప్రతిచర్యను కొనసాగించడానికి అనుమతిస్తుంది, తద్వారా ఉపరితల ఉపరితలంపై కావలసిన సన్నని చలనచిత్రాన్ని నిక్షిప్తం చేస్తుంది.

SiC Coating graphite MOCVD heater working diagram

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ SiC పూతతో అధిక నాణ్యత గల గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది. SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ సూత్రం ద్వారా వేడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది.

SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ యొక్క ప్రధాన భాగం గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్. కరెంట్ బాహ్య విద్యుత్ సరఫరా ద్వారా వర్తించబడుతుంది మరియు గ్రాఫైట్ యొక్క నిరోధక లక్షణాలు అవసరమైన అధిక ఉష్ణోగ్రతను సాధించడానికి వేడిని ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగించబడతాయి. గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత అద్భుతమైనది, ఇది త్వరగా వేడిని నిర్వహించగలదు మరియు మొత్తం హీటర్ ఉపరితలానికి ఉష్ణోగ్రతను సమానంగా బదిలీ చేస్తుంది. అదే సమయంలో, SiC పూత గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ వాహకతను ప్రభావితం చేయదు, హీటర్ ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు త్వరగా స్పందించడానికి మరియు ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారించడానికి అనుమతిస్తుంది.

అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో స్వచ్ఛమైన గ్రాఫైట్ ఆక్సీకరణకు గురవుతుంది. SiC పూత ఆక్సిజన్‌తో ప్రత్యక్ష సంబంధం నుండి గ్రాఫైట్‌ను సమర్థవంతంగా వేరు చేస్తుంది, తద్వారా ఆక్సీకరణ ప్రతిచర్యలను నివారిస్తుంది మరియు హీటర్ యొక్క జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. అదనంగా, MOCVD పరికరాలు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ కోసం తినివేయు వాయువులను (అమోనియా, హైడ్రోజన్ మొదలైనవి) ఉపయోగిస్తాయి. SiC పూత యొక్క రసాయన స్థిరత్వం ఈ తినివేయు వాయువుల కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధించడానికి మరియు గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని రక్షించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.

అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద, అన్‌కోటెడ్ గ్రాఫైట్ పదార్థాలు కార్బన్ కణాలను విడుదల చేస్తాయి, ఇది ఫిల్మ్ నిక్షేపణ నాణ్యతను ప్రభావితం చేస్తుంది. SiC పూత యొక్క అప్లికేషన్ కార్బన్ కణాల విడుదలను నిరోధిస్తుంది, MOCVD ప్రక్రియను స్వచ్ఛమైన వాతావరణంలో నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది, అధిక శుభ్రత అవసరాలతో సెమీకండక్టర్ తయారీ అవసరాలను తీరుస్తుంది.

చివరగా, SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ సాధారణంగా ఉపరితల ఉపరితలంపై ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత ఉండేలా వృత్తాకార లేదా ఇతర సాధారణ ఆకృతిలో రూపొందించబడింది. మందపాటి ఫిల్మ్‌ల ఏకరీతి పెరుగుదలకు ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత కీలకం, ప్రత్యేకించి GaN మరియు InP వంటి III-V సమ్మేళనాల MOCVD ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియలో.

VeTeK సెమీకండక్టర్ వృత్తిపరమైన అనుకూలీకరణ సేవలను అందిస్తుంది. పరిశ్రమ-ప్రముఖ మ్యాచింగ్ మరియు SiC పూత సామర్థ్యాలు MOCVD పరికరాల కోసం ఉన్నత-స్థాయి హీటర్‌లను తయారు చేయడానికి మాకు సహాయపడతాయి, ఇది చాలా MOCVD పరికరాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
SiC కోటింగ్ హీట్ కెపాసిటీ	640 J·kg^-1·కె^-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m^-1·కె^-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTeK సెమీకండక్టర్ SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ దుకాణాలు

Graphite substrate MOCVD epitaxial growth process test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

హాట్ ట్యాగ్‌లు: SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం