VeTek సెమీకండక్టర్కి స్వాగతం, CVD SiC కోటింగ్ల యొక్క మీ విశ్వసనీయ తయారీదారు. Aixtron SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్ను అందించడం పట్ల మేము గర్విస్తున్నాము, ఇవి అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ను ఉపయోగించి నైపుణ్యంతో రూపొందించబడ్డాయి మరియు 5ppm కంటే తక్కువ అశుద్ధతతో అత్యాధునిక CVD SiC కోటింగ్ను కలిగి ఉంటాయి. దయచేసి ఏవైనా ప్రశ్నలు లేదా విచారణలతో మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి
ఉత్పత్తి TaC కోటింగ్ మరియు SiC కోటింగ్లో సంవత్సరాల అనుభవంతో, VeTek సెమీకండక్టర్ ఐక్స్ట్రాన్ సిస్టమ్ కోసం విస్తృత శ్రేణి SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్, కలెక్టర్ బాటమ్లను సరఫరా చేయగలదు. అధిక నాణ్యత గల SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్ అనేక అప్లికేషన్లను తీర్చగలదు, మీకు అవసరమైతే, దయచేసి SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్ గురించి మా ఆన్లైన్ సకాలంలో సేవను పొందండి. దిగువ ఉత్పత్తి జాబితాతో పాటు, మీరు మీ నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా మీ స్వంత ప్రత్యేక SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్ని కూడా అనుకూలీకరించవచ్చు.
SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్, SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ అనేవి సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే మూడు ప్రాథమిక భాగాలు. ప్రతి ఉత్పత్తిని విడిగా చర్చిద్దాం:
VeTek సెమీకండక్టర్ SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్ సెమీకండక్టర్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఇది డిపాజిటెడ్ మెటీరియల్కు సపోర్టు స్ట్రక్చర్గా పనిచేస్తుంది, నిక్షేపణ సమయంలో ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని కొనసాగించడంలో సహాయపడుతుంది. ఇది థర్మల్ మేనేజ్మెంట్లో కూడా ఎయిడ్స్, ప్రక్రియ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లుతుంది. కలెక్టర్ పైభాగం డిపాజిటెడ్ మెటీరియల్ యొక్క సరైన అమరిక మరియు పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, ఫలితంగా అధిక-నాణ్యత మరియు స్థిరమైన ఫిల్మ్ వృద్ధి చెందుతుంది.
కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్, కలెక్టర్ దిగువన ఉన్న SiC పూత వాటి పనితీరు మరియు మన్నికను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది. SiC(సిలికాన్ కార్బైడ్) పూత దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, రసాయన జడత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందింది. కలెక్టర్ ఎగువన, మధ్యలో మరియు దిగువన ఉన్న SiC పూత అద్భుతమైన థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ సామర్థ్యాలను అందిస్తుంది, సమర్థవంతమైన ఉష్ణ వెదజల్లడానికి మరియు సరైన ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతలను నిర్వహిస్తుంది. ఇది అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంది, తినివేయు వాతావరణాల నుండి భాగాలను రక్షించడం మరియు వారి సేవా జీవితాన్ని పొడిగించడం. SiC పూత యొక్క లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి, లోపాలను తగ్గించడానికి మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి సహాయపడతాయి.
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
క్రిస్టల్ నిర్మాణం | FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్ |
సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెం³ |
కాఠిన్యం | 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్) |
ధాన్యం పరిమాణం | 2~10μm |
రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 J·kg-1·K-1 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃ |
ఉష్ణ వాహకత | 300W·m-1·K-1 |
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |