CVD SiC కోటింగ్ తయారీలో మా నైపుణ్యంతో, VeTek సెమీకండక్టర్ సగర్వంగా Aixtron SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ను అందజేస్తుంది. ఈ SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ను ఉపయోగించి నిర్మించబడింది మరియు CVD SiCతో పూత పూయబడి, 5ppm కంటే తక్కువ అశుద్ధతను నిర్ధారిస్తుంది. తదుపరి సమాచారం మరియు విచారణల కోసం మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.
VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది అధిక నాణ్యత గల CVD TaC కోటింగ్ మరియు CVD SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ దిగువన అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్న తయారీదారు మరియు మా వినియోగదారుల అవసరాలను తీర్చడానికి Aixtron పరికరాలతో కలిసి పని చేస్తుంది. ప్రాసెస్ ఆప్టిమైజేషన్ లేదా కొత్త ప్రోడక్ట్ డెవలప్మెంట్లో అయినా, మేము మీకు సాంకేతిక మద్దతును అందించడానికి మరియు మీరు కలిగి ఉన్న ఏవైనా ప్రశ్నలకు సమాధానం ఇవ్వడానికి సిద్ధంగా ఉన్నాము.
Aixtron SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ దిగువ ఉత్పత్తులు. ఈ ఉత్పత్తులు అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే కీలక భాగాలలో ఒకటి.
Aixtron పరికరాలలో Aixtron SiC కోటెడ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు కలెక్టర్ బాటమ్ కలయిక క్రింది ముఖ్యమైన పాత్రలను పోషిస్తుంది:
థర్మల్ మేనేజ్మెంట్: ఈ భాగాలు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి మరియు వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించగలవు. సెమీకండక్టర్ తయారీలో థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ కీలకం. కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ కలెక్టర్ బాటమ్లోని SiC పూతలు వేడిని సమర్థవంతంగా తొలగించడానికి, తగిన ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతలను నిర్వహించడానికి మరియు పరికరాల థర్మల్ నిర్వహణను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడతాయి.
రసాయన జడత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత: Aixtron SiC కోటెడ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ అద్భుతమైన రసాయన జడత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు రసాయన తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. ఇది చాలా కాలం పాటు కఠినమైన రసాయన వాతావరణంలో స్థిరంగా పనిచేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, నమ్మకమైన రక్షణ పొరను అందిస్తుంది మరియు భాగాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ (EB) బాష్పీభవన ప్రక్రియకు మద్దతు: ఈ భాగాలు ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ బాష్పీభవన ప్రక్రియకు మద్దతుగా Aixtron పరికరాలలో ఉపయోగించబడతాయి. కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ యొక్క డిజైన్ మరియు మెటీరియల్ ఎంపిక ఏకరీతి ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ను సాధించడంలో సహాయపడతాయి మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి స్థిరమైన సబ్స్ట్రేట్ను అందిస్తాయి.
ఫిల్మ్ గ్రోయింగ్ ఎన్విరాన్మెంట్ ఆప్టిమైజేషన్: కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ Aixtron పరికరాలలో ఫిల్మ్ గ్రోయింగ్ ఎన్విరాన్మెంట్ను ఆప్టిమైజ్ చేస్తాయి. పూత యొక్క రసాయన జడత్వం మరియు ఉష్ణ వాహకత మలినాలను మరియు లోపాలను తగ్గించడానికి మరియు చలనచిత్రం యొక్క క్రిస్టల్ నాణ్యత మరియు అనుగుణ్యతను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడతాయి.
Aixtron SiC కోటెడ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SiC కోటింగ్ కలెక్టర్ బాటమ్ని ఉపయోగించడం ద్వారా, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ మరియు రసాయన రక్షణను సాధించవచ్చు, ఫిల్మ్ గ్రోత్ వాతావరణాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయవచ్చు మరియు ఫిల్మ్ యొక్క నాణ్యత మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు. Aixtron పరికరాలలో ఈ భాగాల కలయిక స్థిరమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులు మరియు సమర్థవంతమైన సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిని నిర్ధారిస్తుంది.
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
క్రిస్టల్ నిర్మాణం | FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్ |
సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెం³ |
కాఠిన్యం | 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్) |
ధాన్యం పరిమాణం | 2~10μm |
రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 J·kg-1·K-1 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃ |
ఉష్ణ వాహకత | 300W·m-1·K-1 |
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |