MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం SiC కోటింగ్ అప్లికేషన్‌లు మరియు ఎపిటాక్సియల్ సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తులలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది. మా MOCVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్‌లు యూరప్ మరియు అమెరికా అంతటా మార్కెట్‌లకు సేవలందిస్తున్న పోటీ నాణ్యత మరియు ధరలను అందిస్తాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీని అభివృద్ధి చేయడంలో మీ దీర్ఘకాలిక, విశ్వసనీయ భాగస్వామిగా మారడానికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

MOCVD కోసం VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్, ఇది పొర చిప్‌లపై ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ పెరుగుదల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. MOCVD ప్రాసెసింగ్‌లో కేంద్ర భాగం, సాధారణంగా గేర్ లేదా రింగ్‌గా ఆకారంలో ఉంటుంది, ఇది అసాధారణమైన ఉష్ణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణాలలో స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

MOCVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు:

● ఫ్లేక్-రెసిస్టెంట్ కోటింగ్: అన్ని ఉపరితలాలపై ఏకరీతి SiC పూత కవరేజీని నిర్ధారిస్తుంది, కణ నిర్లిప్తత ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది

● అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకంce: 1600°C వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది

● అధిక స్వచ్ఛత: CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితులకు అనుకూలం

● సుపీరియర్ తుప్పు నిరోధకత: ఆమ్లాలు, ఆల్కాలిస్, లవణాలు మరియు సేంద్రీయ కారకాలకు అధిక నిరోధకత

● ఆప్టిమైజ్ చేసిన లామినార్ ఎయిర్‌ఫ్లో ప్యాటర్న్: వాయుప్రసరణ డైనమిక్స్ యొక్క ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది

● ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీ: అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో స్థిరమైన ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది

● కాలుష్య నివారణ: మలినాలను లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నిరోధిస్తుంది, పొర శుభ్రతను నిర్ధారిస్తుంది

VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా క్లయింట్‌లకు నమ్మకమైన ఉత్పత్తులు మరియు సేవలను అందజేస్తూ ఖచ్చితమైన నాణ్యతా ప్రమాణాలకు కట్టుబడి ఉంటాము. మేము ప్రీమియం మెటీరియల్‌లను మాత్రమే ఎంచుకుంటాము, పరిశ్రమ పనితీరు అవసరాలను తీర్చడానికి మరియు అధిగమించడానికి ప్రయత్నిస్తాము. MOCVD కోసం మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ నాణ్యత పట్ల ఈ నిబద్ధతను వివరిస్తుంది. మీ సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అవసరాలకు మేము ఎలా మద్దతు ఇవ్వగలము అనే దాని గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg^-1·కె^-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m^-1·కె^-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek సెమీకండక్టర్ MOCVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రిసెప్టర్:

VeTekSemi MOCVD SiC Coated Graphite Susceptor

హాట్ ట్యాగ్‌లు: MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది.

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం