SiC పూతతో కూడిన లోతైన UV LED ససెప్టర్

SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ సమర్థవంతమైన మరియు స్థిరమైన డీప్ UV LED ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ పెరుగుదలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి MOCVD ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది. VeTek సెమీకండక్టర్ చైనాలో SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మేము గొప్ప అనుభవాన్ని కలిగి ఉన్నాము మరియు అనేక LED ఎపిటాక్సియల్ తయారీదారులతో దీర్ఘకాలిక సహకార సంబంధాలను ఏర్పరచుకున్నాము. మేము LED ల కోసం ససెప్టర్ ఉత్పత్తుల యొక్క అగ్ర దేశీయ తయారీదారులం. సంవత్సరాల ధృవీకరణ తర్వాత, మా ఉత్పత్తి జీవితకాలం అగ్ర అంతర్జాతీయ తయారీదారులతో సమానంగా ఉంది. మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ కోర్ బేరింగ్ కాంపోనెంట్MOCVD (మెటల్ ఆర్గానిక్ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) పరికరాలు. లోతైన UV LED ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క ఏకరూపత, మందం నియంత్రణ మరియు మెటీరియల్ నాణ్యతను ససెప్టర్ నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది, ముఖ్యంగా అధిక అల్యూమినియం కంటెంట్‌తో అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలలో, ససెప్టర్ రూపకల్పన మరియు పనితీరు కీలకం.

SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ డీప్ UV LED ఎపిటాక్సీ కోసం ప్రత్యేకంగా ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది మరియు కఠినమైన ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చడానికి థర్మల్, మెకానికల్ మరియు రసాయన పర్యావరణ లక్షణాల ఆధారంగా ఖచ్చితంగా రూపొందించబడింది.

VeTek సెమీకండక్టర్, ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత వలన ఏర్పడే ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరీతి పెరుగుదలను నివారిస్తూ, ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో ససెప్టర్ యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారించడానికి అధునాతన ప్రాసెసింగ్ సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తుంది. ఖచ్చితమైన ప్రాసెసింగ్ ఉపరితల కరుకుదనాన్ని నియంత్రిస్తుంది, కణ కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు పొర ఉపరితల పరిచయం యొక్క ఉష్ణ వాహకత సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ SGL గ్రాఫైట్‌ను పదార్థంగా ఉపయోగిస్తుంది మరియు ఉపరితలంతో చికిత్స చేయబడుతుందిCVD SiC పూత, ఇది చాలా కాలం పాటు NH3, HCl మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ AlN/GaN ఎపిటాక్సియల్ పొరల యొక్క థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌తో సరిపోతుంది, ప్రక్రియ సమయంలో థర్మల్ స్ట్రెస్ వల్ల ఏర్పడే పొర వార్పింగ్ లేదా క్రాకింగ్‌ను తగ్గిస్తుంది.

మరీ ముఖ్యంగా, VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్ ప్రధాన స్రవంతి MOCVD పరికరాలకు (Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius మొదలైన వాటితో సహా) సంపూర్ణంగా వర్తిస్తుంది. పొర పరిమాణం (2~8 అంగుళాలు), వేఫర్ స్లాట్ డిజైన్, ప్రాసెస్ ఉష్ణోగ్రత మరియు ఇతర అవసరాల కోసం అనుకూలీకరించిన సేవలకు మద్దతు ఇస్తుంది.

అప్లికేషన్ దృశ్యాలు:

● లోతైన UV LED తయారీ: 260 nm కంటే తక్కువ బ్యాండ్‌లోని పరికరాల ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియకు వర్తిస్తుంది (UV-C క్రిమిసంహారక, స్టెరిలైజేషన్ మరియు ఇతర ఫీల్డ్‌లు).

● నైట్రైడ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ: గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఎపిటాక్సియల్ తయారీకి ఉపయోగించబడుతుంది.

● పరిశోధన-స్థాయి ఎపిటాక్సియల్ ప్రయోగాలు: విశ్వవిద్యాలయాలు మరియు పరిశోధనా సంస్థలలో లోతైన UV ఎపిటాక్సీ మరియు కొత్త మెటీరియల్ డెవలప్‌మెంట్ ప్రయోగాలు.

బలమైన సాంకేతిక బృందం యొక్క మద్దతుతో, VeTek సెమీకండక్టర్ కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు ఫంక్షన్లతో ససెప్టర్లను అభివృద్ధి చేయగలదు, నిర్దిష్ట ఉత్పత్తి ప్రక్రియలకు మద్దతు ఇస్తుంది మరియు దీర్ఘకాలిక సేవలను అందించగలదు.

CVD SIC కోటింగ్ ఫిల్మ్ యొక్క SEM డేటా:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి	సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత	3.21 గ్రా/సెం³
CVD SiC పూత కాఠిన్యం	2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం	2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత	99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం	640 J·kg^-1·కె^-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్	430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత	300W·m^-1·కె^-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek సెమీకండక్టర్SiC పూతతో కూడిన లోతైన UV LED ససెప్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణాలు:

SiC coated deep UV LED susceptor Semiconductor process equipment CVD SiC Focus Ring Oxidation and Diffusion Furnace Equipment

హాట్ ట్యాగ్‌లు: SiC కోటెడ్ డీప్ UV LED ససెప్టర్, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం