సెమీకండక్టర్ థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ

సెమీకండక్టర్ థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ అనేది ఒక అధునాతన ప్రక్రియ, ఇది కరిగిన లేదా సెమీ కరిగిన స్థితిలో ఉన్న పదార్థాలను ఒక పూతని ఏర్పరచడానికి ఉపరితల ఉపరితలంపై స్ప్రే చేస్తుంది. ఈ సాంకేతికత సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ప్రధానంగా ఉపరితల ఉపరితలంపై వాహకత, ఇన్సులేషన్, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత వంటి నిర్దిష్ట విధులతో పూతలను రూపొందించడానికి ఉపయోగిస్తారు. థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క ప్రధాన ప్రయోజనాలు అధిక సామర్థ్యం, ​​నియంత్రించదగిన పూత మందం మరియు మంచి పూత సంశ్లేషణ, అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయత అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

సెమీకండక్టర్లలో థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ అప్లికేషన్

ప్లాస్మా బీమ్ ఎచింగ్ (డ్రై ఎచింగ్)

సాధారణంగా ప్లాస్మా మరియు ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అత్యంత రసాయనికంగా చురుకైన తటస్థ అణువులు మరియు అణువులు మరియు ఫ్రీ రాడికల్స్ వంటి చార్జ్డ్ కణాలను కలిగి ఉన్న ప్లాస్మా యాక్టివ్ కణాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి గ్లో డిశ్చార్జ్ వినియోగాన్ని సూచిస్తుంది. ఉత్పత్తులు మరియు తీసివేయబడతాయి, తద్వారా నమూనా బదిలీ యొక్క ఎచింగ్ సాంకేతికతను పూర్తి చేస్తుంది. అల్ట్రా-లార్జ్-స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల ఉత్పత్తిలో ఫోటోలిథోగ్రఫీ టెంప్లేట్‌ల నుండి పొరలకు చక్కటి నమూనాల యొక్క అధిక-విశ్వసనీయ బదిలీని గ్రహించడం కోసం ఇది భర్తీ చేయలేని ప్రక్రియ.

Cl మరియు F వంటి క్రియాశీల ఫ్రీ రాడికల్స్ పెద్ద సంఖ్యలో ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. వారు సెమీకండక్టర్ పరికరాలను చెక్కినప్పుడు, అవి అల్యూమినియం మిశ్రమాలు మరియు సిరామిక్ నిర్మాణ భాగాలతో సహా ఇతర పరికరాల అంతర్గత ఉపరితలాలను క్షీణిస్తాయి. ఈ బలమైన కోత పెద్ద సంఖ్యలో కణాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది ఉత్పత్తి పరికరాల యొక్క తరచుగా నిర్వహణ అవసరం మాత్రమే కాకుండా, ఎచింగ్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్ యొక్క వైఫల్యానికి మరియు తీవ్రమైన సందర్భాల్లో పరికరానికి నష్టం కలిగిస్తుంది.

Y2O3 అనేది చాలా స్థిరమైన రసాయన మరియు ఉష్ణ లక్షణాలతో కూడిన పదార్థం. దీని ద్రవీభవన స్థానం 2400℃ కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది. ఇది బలమైన తినివేయు వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉంటుంది. ప్లాస్మా బాంబర్‌మెంట్‌కు దాని నిరోధకత చాలా భాగాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు ఎచింగ్ ఛాంబర్‌లోని కణాలను తగ్గిస్తుంది.

ఎచింగ్ చాంబర్ మరియు ఇతర కీలక భాగాలను రక్షించడానికి అధిక స్వచ్ఛత Y2O3 పూతను పిచికారీ చేయడం ప్రధాన స్రవంతి పరిష్కారం.