రాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ రాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ ససెప్టర్ అధిక నాణ్యత మరియు సుదీర్ఘ జీవితకాలంతో ఉంది, మమ్మల్ని విచారించడానికి స్వాగతం.

ర్యాపిడ్ థర్మల్ అన్నేల్ (RTA) అనేది సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో ఉపయోగించే రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క కీలకమైన ఉపసమితి. ఇది వివిధ లక్ష్య ఉష్ణ చికిత్సల ద్వారా వాటి విద్యుత్ లక్షణాలను సవరించడానికి వ్యక్తిగత పొరల వేడిని కలిగి ఉంటుంది. RTA ప్రక్రియ డోపాంట్ల క్రియాశీలతను, ఫిల్మ్-టు-ఫిల్మ్ లేదా ఫిల్మ్-టు-వేఫర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లను మార్చడం, డిపాజిటెడ్ ఫిల్మ్‌ల డెన్సిఫికేషన్, గ్రోన్ ఫిల్మ్ స్టేట్‌లను సవరించడం, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ డ్యామేజ్ రిపేర్ చేయడం, డోపాంట్ మూవ్‌మెంట్ మరియు ఫిల్మ్‌ల మధ్య డోపాంట్‌లను నడపడం వంటివి చేస్తుంది. లేదా పొర ఉపరితలంలోకి.

VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి, రాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ ససెప్టర్, RTP ప్రక్రియలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఇది జడ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) యొక్క రక్షిత పూతతో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ పదార్థాన్ని ఉపయోగించి నిర్మించబడింది. SiC-కోటెడ్ సిలికాన్ సబ్‌స్ట్రేట్ 1100°C వరకు ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు, ఇది తీవ్రమైన పరిస్థితుల్లో కూడా నమ్మదగిన పనితీరును అందిస్తుంది. SiC పూత గ్యాస్ లీకేజ్ మరియు పార్టికల్ షెడ్డింగ్ నుండి అద్భుతమైన రక్షణను అందిస్తుంది, ఉత్పత్తి యొక్క దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది.

ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను నిర్వహించడానికి, చిప్ SiCతో పూసిన రెండు అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ భాగాల మధ్య కప్పబడి ఉంటుంది. సమీకృత అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెన్సార్‌లు లేదా సబ్‌స్ట్రేట్‌తో సంబంధం ఉన్న థర్మోకపుల్‌ల ద్వారా ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత కొలతలను పొందవచ్చు.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణం

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం: