సెమీకండక్టర్ కోసం VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-నాణ్యత, అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్. మా క్యారియర్లు అద్భుతమైన పనితీరును కలిగి ఉంటాయి మరియు కఠినమైన వాతావరణంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రపరిచే పరిస్థితులలో బాగా పని చేయగలవు. మా ఉత్పత్తులు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి మరియు చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ప్రొఫెషనల్ తయారీదారుగా, మేము మీకు సెమీకండక్టర్ కోసం అధిక నాణ్యత గల PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ను అందించాలనుకుంటున్నాము. సెమీకండక్టర్ కోసం VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ అనేది ప్లాస్మా సోర్స్ స్పెక్ట్రోస్కోపీ (PSS) ఎచింగ్ ప్రక్రియ కోసం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం. చెక్కే ప్రక్రియలో సెమీకండక్టర్ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడంలో మరియు మోసుకెళ్లడంలో ఈ ప్లేట్ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. మమ్మల్ని విచారించడానికి స్వాగతం!
ప్రెసిషన్ డిజైన్: సెమీకండక్టర్ పొరల అంతటా ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన చెక్కడాన్ని నిర్ధారించడానికి క్యారియర్ ప్లేట్ ఖచ్చితమైన కొలతలు మరియు ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్తో రూపొందించబడింది. ఇది పొరల కోసం స్థిరమైన మరియు నియంత్రిత ప్లాట్ఫారమ్ను అందిస్తుంది, ఇది ఖచ్చితమైన మరియు నమ్మదగిన ఎచింగ్ ఫలితాలను అనుమతిస్తుంది.
ప్లాస్మా రెసిస్టెన్స్: క్యారియర్ ప్లేట్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే ప్లాస్మాకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను ప్రదర్శిస్తుంది. ఇది రియాక్టివ్ వాయువులు మరియు అధిక-శక్తి ప్లాస్మా ద్వారా ప్రభావితం కాకుండా ఉంటుంది, సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని మరియు స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: క్యారియర్ ప్లేట్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లడానికి అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది. ఇది సరైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను నిర్వహించడంలో సహాయపడుతుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పొరల వేడెక్కడాన్ని నిరోధిస్తుంది.
అనుకూలత: PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ అనేది పరిశ్రమలో సాధారణంగా ఉపయోగించే వివిధ సెమీకండక్టర్ పొర పరిమాణాలకు అనుకూలంగా ఉండేలా రూపొందించబడింది, వివిధ ఉత్పాదక ప్రక్రియలలో బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు వాడుకలో సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
క్రిస్టల్ నిర్మాణం | FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్ |
సాంద్రత | 3.21 గ్రా/సెం³ |
కాఠిన్యం | 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్) |
ధాన్యం పరిమాణం | 2~10μm |
రసాయన స్వచ్ఛత | 99.99995% |
ఉష్ణ సామర్థ్యం | 640 J·kg-1·K-1 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత | 2700℃ |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ | 415 MPa RT 4-పాయింట్ |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ | 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃ |
ఉష్ణ వాహకత | 300W·m-1·K-1 |
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |