ALD అటామిక్ లేయర్ నిక్షేపణ రెసిపీ

ప్రాదేశిక ALD, ప్రాదేశికంగా వేరుచేయబడిన పరమాణు పొర నిక్షేపణ. పొర వేర్వేరు స్థానాల మధ్య కదులుతుంది మరియు ప్రతి స్థానం వద్ద వేర్వేరు పూర్వగాములకు బహిర్గతమవుతుంది. దిగువ బొమ్మ సాంప్రదాయ ALD మరియు ప్రాదేశికంగా వేరు చేయబడిన ALD మధ్య పోలిక.

తాత్కాలిక ALD,తాత్కాలికంగా వేరుచేయబడిన పరమాణు పొర నిక్షేపణ. పొర స్థిరంగా ఉంది మరియు పూర్వగాములు ప్రత్యామ్నాయంగా చాంబర్‌లో ప్రవేశపెట్టబడతాయి మరియు తీసివేయబడతాయి. ఈ పద్ధతి పొరను మరింత సమతుల్య వాతావరణంలో ప్రాసెస్ చేయగలదు, తద్వారా క్లిష్టమైన కొలతల శ్రేణి యొక్క మెరుగైన నియంత్రణ వంటి ఫలితాలను మెరుగుపరుస్తుంది. దిగువన ఉన్న బొమ్మ టెంపోరల్ ALD యొక్క స్కీమాటిక్ రేఖాచిత్రం.

స్టాప్ వాల్వ్, క్లోజ్ వాల్వ్. లో సాధారణంగా ఉపయోగిస్తారు，వంటకాలు, వాక్యూమ్ పంప్‌కు వాల్వ్‌ను మూసివేయడానికి లేదా వాక్యూమ్ పంప్‌కు స్టాప్ వాల్వ్‌ను తెరవడానికి ఉపయోగిస్తారు.

పూర్వగామి, పూర్వగామి. రెండు లేదా అంతకంటే ఎక్కువ, కావలసిన డిపాజిటెడ్ ఫిల్మ్ యొక్క ఎలిమెంట్‌లను కలిగి ఉన్న ప్రతి ఒక్కటి, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ప్రత్యామ్నాయంగా శోషించబడతాయి, ఒకదానికొకటి స్వతంత్రంగా ఒక సమయంలో ఒక పూర్వగామి మాత్రమే ఉంటుంది. ప్రతి పూర్వగామి ఒక మోనోలేయర్‌ను ఏర్పరచడానికి ఉపరితల ఉపరితలాన్ని సంతృప్తిపరుస్తుంది. పూర్వగామి క్రింది చిత్రంలో చూడవచ్చు.

ప్రక్షాళన, శుద్దీకరణ అని కూడా పిలుస్తారు. సాధారణ ప్రక్షాళన వాయువు, ప్రక్షాళన వాయువు.పరమాణు పొర నిక్షేపణప్రతి రియాక్టెంట్ యొక్క కుళ్ళిపోవడం మరియు శోషణం ద్వారా సన్నని ఫిల్మ్‌ను రూపొందించడానికి రెండు లేదా అంతకంటే ఎక్కువ రియాక్టెంట్‌లను రియాక్షన్ చాంబర్‌లో వరుసగా ఉంచడం ద్వారా సన్నని ఫిల్మ్‌లను పరమాణు పొరలలో నిక్షిప్తం చేసే పద్ధతి. అంటే, గది లోపల రసాయనికంగా డిపాజిట్ చేయడానికి మొదటి ప్రతిచర్య వాయువు పల్సెడ్ పద్ధతిలో సరఫరా చేయబడుతుంది మరియు భౌతికంగా బంధించబడిన అవశేష మొదటి ప్రతిచర్య వాయువు ప్రక్షాళన చేయడం ద్వారా తొలగించబడుతుంది. అప్పుడు, రెండవ ప్రతిచర్య వాయువు పల్స్ మరియు ప్రక్షాళన ప్రక్రియ ద్వారా పాక్షికంగా మొదటి ప్రతిచర్య వాయువుతో రసాయన బంధాన్ని ఏర్పరుస్తుంది, తద్వారా ఉపరితలంపై కావలసిన ఫిల్మ్‌ను నిక్షిప్తం చేస్తుంది. ప్రక్షాళన క్రింది చిత్రంలో చూడవచ్చు.

సైకిల్. పరమాణు పొర నిక్షేపణ ప్రక్రియలో, ప్రతి ప్రతిచర్య వాయువు ఒకసారి పల్స్ చేయబడి, ప్రక్షాళన చేయబడే సమయాన్ని చక్రం అంటారు.

అటామిక్ లేయర్ ఎపిటాక్సీ.పరమాణు పొర నిక్షేపణకు మరొక పదం.

ట్రిమెథైలాల్యూమినియం, TMA అని సంక్షిప్తీకరించబడింది, ట్రైమెథైలాల్యూమినియం. పరమాణు పొర నిక్షేపణలో, TMA తరచుగా Al2O3 ఏర్పడటానికి పూర్వగామిగా ఉపయోగించబడుతుంది. సాధారణంగా, TMA మరియు H2O Al2O3ని ఏర్పరుస్తాయి. అదనంగా, TMA మరియు O3 Al2O3ని ఏర్పరుస్తాయి. దిగువన ఉన్న బొమ్మ TMA మరియు H2Oలను పూర్వగాములుగా ఉపయోగించి Al2O3 పరమాణు పొర నిక్షేపణ యొక్క స్కీమాటిక్ రేఖాచిత్రం.

3-Aminopropyltriethoxysilane, APTES గా సూచిస్తారు, 3-aminopropyltrimethoxysilane. లోపరమాణు పొర నిక్షేపణ, APTES తరచుగా SiO2 ఏర్పడటానికి పూర్వగామిగా ఉపయోగించబడుతుంది. సాధారణంగా, APTES, O3 మరియు H2O SiO2ను ఏర్పరుస్తాయి. దిగువన ఉన్న బొమ్మ APTES యొక్క స్కీమాటిక్ రేఖాచిత్రం.