టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత అంటే ఏమిటి?

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) సిరామిక్ పదార్థం 3880 ℃ వరకు ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంటుంది మరియు ఇది అధిక ద్రవీభవన స్థానం మరియు మంచి రసాయన స్థిరత్వంతో కూడిన సమ్మేళనం. ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో స్థిరమైన పనితీరును నిర్వహించగలదు. అదనంగా, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, రసాయన తుప్పు నిరోధకత మరియు కార్బన్ పదార్థాలతో మంచి రసాయన మరియు యాంత్రిక అనుకూలతను కలిగి ఉంది, ఇది ఆదర్శవంతమైన గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రొటెక్టివ్ కోటింగ్ మెటీరియల్‌గా మారుతుంది. 

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత వేడి అమ్మోనియా, హైడ్రోజన్, సిలికాన్ ఆవిరి మరియు కరిగిన లోహం యొక్క ప్రభావాల నుండి గ్రాఫైట్ భాగాలను ప్రభావవంతంగా రక్షించగలదు, ఇది గ్రాఫైట్ భాగాల సేవా జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది మరియు గ్రాఫైట్‌లోని మలినాలను తరలించడాన్ని అణిచివేస్తుంది, నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.ఎపిటాక్సియల్మరియుక్రిస్టల్ పెరుగుదల.

మూర్తి 1. సాధారణ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత భాగాలు

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) అనేది గ్రాఫైట్ ఉపరితలాలపై TaC పూతలను ఉత్పత్తి చేయడానికి అత్యంత పరిణతి చెందిన మరియు సరైన పద్ధతి.

TaCl5 మరియు ప్రొపైలిన్‌లను వరుసగా కార్బన్ మరియు టాంటాలమ్ మూలాలుగా మరియు ఆర్గాన్‌ను క్యారియర్ గ్యాస్‌గా ఉపయోగించడం ద్వారా, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆవిరితో కూడిన TaCl5 ఆవిరి ప్రతిచర్య గదిలోకి ప్రవేశపెట్టబడుతుంది. లక్ష్య ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం వద్ద, పూర్వగామి పదార్థం ఆవిరి గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై శోషించబడుతుంది, కుళ్ళిపోవడం మరియు కార్బన్ మరియు టాంటాలమ్ మూలాల కలయిక వంటి సంక్లిష్ట రసాయన ప్రతిచర్యల శ్రేణికి లోనవుతుంది, అలాగే వ్యాప్తి మరియు నిర్జలీకరణం వంటి ఉపరితల ప్రతిచర్యల శ్రేణి పూర్వగామి యొక్క ఉప-ఉత్పత్తులు. చివరగా, గ్రాఫైట్ యొక్క ఉపరితలంపై దట్టమైన రక్షణ పొర ఏర్పడుతుంది, ఇది తీవ్రమైన పర్యావరణ పరిస్థితులలో స్థిరమైన ఉనికి నుండి గ్రాఫైట్‌ను రక్షిస్తుంది మరియు గ్రాఫైట్ పదార్థాల అప్లికేషన్ దృశ్యాలను గణనీయంగా విస్తరిస్తుంది.

మూర్తి 2.రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ సూత్రం

VeTek సెమీకండక్టర్ప్రధానంగా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ ఉత్పత్తులను అందిస్తుంది: TaC గైడ్ రింగ్,TaC కోటెడ్ త్రీ రేకుల రింగ్,TaC కోటింగ్ క్రూసిబుల్,TaC కోటింగ్ పోరస్ గ్రాఫైట్ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్;TaC కోటెడ్‌తో పోరస్ గ్రాఫైట్,TaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్, TaC కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్, గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్ TaC కోటింగ్ ససెప్టర్లు, ప్లానెటరీ ససెప్టర్, TaC కోటెడ్ శాటిలైట్ ససెప్టర్, మరియు ఈ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత ఉత్పత్తులు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియమరియుSiC సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్.

మూర్తి 3.VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క అత్యంత ప్రజాదరణ పొందిన టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు