CVD TAC కోటింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో CVD TAC కోటింగ్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు, ఆవిష్కర్త మరియు నాయకుడు. అనేక సంవత్సరాలుగా, మేము CVD TaC కోటింగ్ కవర్, CVD TaC కోటింగ్ రింగ్, CVD TaC కోటింగ్ క్యారియర్ మొదలైన వివిధ CVD TAC కోటింగ్ ఉత్పత్తులపై దృష్టి పెడుతున్నాము. VeTek సెమీకండక్టర్ అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి సేవలు మరియు సంతృప్తికరమైన ఉత్పత్తి ధరలకు మద్దతు ఇస్తుంది మరియు మీ తదుపరి కోసం ఎదురుచూస్తోంది సంప్రదింపులు.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

CVD TaC కోటింగ్ (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత) అనేది ప్రధానంగా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC)తో కూడిన పూత ఉత్పత్తి. TaC పూత చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది కీలకమైన పరికరాల భాగాలను రక్షించడానికి మరియు ప్రక్రియ విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచడానికి ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఇది ఒక అనివార్య పదార్థం.

CVD TaC కోటింగ్ ఉత్పత్తులు సాధారణంగా రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లు, వేఫర్ క్యారియర్లు మరియు ఎచింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడతాయి మరియు వాటిలో క్రింది కీలక పాత్రలను పోషిస్తాయి.

CVD TaC పూత తరచుగా సబ్‌స్ట్రేట్‌లు, వాల్ ప్యానెల్‌లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్ వంటి రియాక్షన్ ఛాంబర్‌ల అంతర్గత భాగాల కోసం ఉపయోగించబడుతుంది. దాని అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతతో కలిపి, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత, తినివేయు వాయువులు మరియు ప్లాస్మా యొక్క కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు, తద్వారా పరికరాల సేవా జీవితాన్ని సమర్థవంతంగా పొడిగిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు ఉత్పత్తి ఉత్పత్తి యొక్క స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది.

అదనంగా, TaC-కోటెడ్ పొర క్యారియర్‌లు (క్వార్ట్జ్ బోట్‌లు, ఫిక్చర్‌లు మొదలైనవి) కూడా అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. పొర క్యారియర్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పొరకు నమ్మకమైన మద్దతును అందిస్తుంది, పొర కాలుష్యం మరియు వైకల్యాన్ని నిరోధించవచ్చు మరియు తద్వారా మొత్తం చిప్ దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.

అంతేకాకుండా, VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క TaC పూత ప్లాస్మా ఎచర్లు, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ వ్యవస్థలు మొదలైన వివిధ ఎచింగ్ మరియు థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాలలో కూడా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ ప్రాసెసింగ్ సిస్టమ్‌లలో, CVD TAC పూత అధిక-శక్తి అయాన్ బాంబు దాడి మరియు బలమైన రసాయన ప్రతిచర్యలను తట్టుకోగలదు. , తద్వారా ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు పునరావృతతను నిర్ధారిస్తుంది.

మీ నిర్దిష్ట అవసరాలు ఏమైనప్పటికీ, మేము మీ CVD TAC కోటింగ్ అవసరాలకు ఉత్తమ పరిష్కారాన్ని సరిపోల్చుతాము మరియు ఎప్పుడైనా మీ సంప్రదింపుల కోసం ఎదురుచూస్తాము.

CVD TAC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
సాంద్రత	14.3 (గ్రా/సెం³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత	0.3
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం	6.3 10-6/K
కాఠిన్యం (HK)	2000 HK
ప్రతిఘటన	1×10-5 ఓం*సెం
ఉష్ణ స్థిరత్వం	<2500℃
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది	-10~-20um
పూత మందం	≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)