SiC పూత హాఫ్మూన్ గ్రాఫైట్ భాగాలలో ఒక ముఖ్యమైన భాగంగా, SiC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్లో CVD SiC పూత దృఢమైన ఉష్ణ సంరక్షణలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది పరిణతి చెందిన CVD SiC కోటింగ్ రిజిడ్ ఫీల్డ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు, ఇది వినియోగదారులకు తగిన మరియు అద్భుతమైన CVD SiC కోటింగ్ రిజిడ్ ఫీల్డ్ ఉత్పత్తులను అందించగలదు. VeTek సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ పరిశ్రమలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తోంది.
CVD SiC కోటింగ్ రిజిడ్ ఫీల్ అనేది గ్రాఫైట్ రిజిడ్ ఫీల్ యొక్క ఉపరితలంపై CVD SiC పూత ద్వారా పొందిన ఒక భాగం, ఇది వేడి ఇన్సులేషన్ లేయర్గా పనిచేస్తుంది.CVD SiC పూతఅధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు, రసాయన స్థిరత్వం, మంచి ఉష్ణ వాహకత, విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత వంటి అద్భుతమైన లక్షణాలను కలిగి ఉంది. కాబట్టి, CVD SiC పూత దృఢంగా భావించబడింది మంచి బలం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు సాధారణంగా వేడి ఇన్సులేషన్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ రియాక్షన్ ఛాంబర్ల మద్దతు కోసం ఉపయోగిస్తారు.
● అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: CVD SiC పూత దృఢంగా భావించబడింది, పదార్థం యొక్క రకాన్ని బట్టి 1000℃ లేదా అంతకంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
● రసాయన స్థిరత్వం: CVD SiC పూత దృఢమైన అనుభూతి ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క రసాయన వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు తినివేయు వాయువుల కోతను తట్టుకుంటుంది.
● థర్మల్ ఇన్సులేషన్ పనితీరు: CVD SiC పూత దృఢమైన అనుభూతి మంచి థర్మల్ ఐసోలేషన్ ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ నుండి వేడిని వెదజల్లకుండా సమర్థవంతంగా నిరోధించవచ్చు.
● యాంత్రిక బలం: SiC పూత హార్డ్ ఫీల్ మంచి యాంత్రిక బలం మరియు దృఢత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది, తద్వారా ఇది ఇప్పటికీ దాని ఆకారాన్ని కొనసాగించగలదు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఇతర భాగాలకు మద్దతు ఇస్తుంది.
● థర్మల్ ఐసోలేషన్: CVD SiC పూత దృఢమైన అనుభూతి కోసం థర్మల్ ఇన్సులేషన్ను అందిస్తుందిSiC ఎపిటాక్సియల్ప్రతిచర్య గదులు, ఛాంబర్లో అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని నిర్వహిస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
● నిర్మాణ మద్దతు: CVD SiC పూత దృఢమైన అనుభూతికి మద్దతునిస్తుందిఅర్ధ చంద్రుని భాగాలుమరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడనం కింద సాధ్యమయ్యే వైకల్యం లేదా నష్టాన్ని నివారించడానికి ఇతర భాగాలు.
● గ్యాస్ ప్రవాహ నియంత్రణ: ఇది రియాక్షన్ ఛాంబర్లో వాయువు యొక్క ప్రవాహాన్ని మరియు పంపిణీని నియంత్రించడంలో సహాయపడుతుంది, వివిధ ప్రాంతాలలో గ్యాస్ యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.
VeTek సెమీకండక్టర్ మీకు అనుకూలీకరించిన CVD SiC కోటింగ్ను మీ అవసరాలకు అనుగుణంగా దృఢంగా అందించగలదు. VeTek సెమీకండక్టర్ మీ విచారణ కోసం వేచి ఉంది.
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి
సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం
FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత
3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం
2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
గ్రెయిన్ యుe
2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత
రసాయన స్వచ్ఛత99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం
640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత
2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్
415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్
430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత
300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)
4.5×10-6K-1