ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం

చైనాలో ఒక ప్రొఫెషనల్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీడస్టల్ ఉత్పత్తుల తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, VeTek సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం ప్రత్యేకంగా అటామిక్ లేయర్ డిపోజిషన్ (ALD), లో-ప్రెజర్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) అలాగే విస్తరణ ప్రక్రియ, పొరలలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడింది. పొర ఉపరితలాలపై సన్నని చలనచిత్రాల ఏకరీతి నిక్షేపణ. మీ తదుపరి విచారణలకు స్వాగతం.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

VeTek సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.క్వార్ట్జ్ పడవ, ఇది పట్టుకోవడానికి ఉపయోగించబడుతుందిపొర. ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడం ద్వారా ఏకరీతి ఫిల్మ్ డిపాజిషన్‌ను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది. అదనంగా, క్వార్ట్జ్ పీఠం ప్రక్రియ చాంబర్‌లో వేడి మరియు కాంతి యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

ALD fused silica susceptor is used to support the quartz boat on which the wafer is placed

ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ మెటీరియల్ ప్రయోజనాలు

అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం యొక్క మృదుత్వం స్థానం దాదాపు 1730°C వరకు ఉంటుంది మరియు ఇది 1100°C నుండి 1250°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల ఆపరేషన్‌ను ఎక్కువ కాలం తట్టుకోగలదు మరియు 1450°C వరకు విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలకు బహిర్గతమవుతుంది. కొద్దికాలం పాటు.

అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ మినహా దాదాపు అన్ని ఆమ్లాలకు అత్యంత రసాయనికంగా జడమైనది. దీని యాసిడ్ నిరోధకత సిరామిక్స్ కంటే 30 రెట్లు ఎక్కువ మరియు స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ కంటే 150 రెట్లు ఎక్కువ. ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయనికంగా సరిపోలలేదు, ఇది సంక్లిష్ట రసాయన ప్రక్రియలకు అనువైన పదార్థంగా మారుతుంది.

ఉష్ణ స్థిరత్వం: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ మెటీరియల్ యొక్క ముఖ్య లక్షణం ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క అతి తక్కువ గుణకం. ఇది పగుళ్లు లేకుండా నాటకీయ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను సులభంగా నిర్వహించగలదని దీని అర్థం. ఉదాహరణకు, ఫ్యూజ్డ్ సిలికా క్వార్ట్జ్‌ను త్వరగా 1100°Cకి వేడి చేయవచ్చు మరియు నష్టం లేకుండా నేరుగా చల్లటి నీటిలో ముంచవచ్చు, ఇది అధిక-ఒత్తిడి తయారీ పరిస్థితులలో ముఖ్యమైన లక్షణం.

కఠినమైన తయారీ ప్రక్రియ: ఫ్యూజ్డ్ సిలికా పీఠాల ఉత్పత్తి ప్రక్రియ ఖచ్చితంగా అధిక నాణ్యత ప్రమాణాలకు కట్టుబడి ఉంటుంది. ఉత్పత్తి ప్రక్రియ హాట్ ఫార్మింగ్ మరియు వెల్డింగ్ ప్రక్రియలను ఉపయోగిస్తుంది, ఇవి సాధారణంగా 10,000 తరగతి క్లీన్‌రూమ్ వాతావరణంలో పూర్తవుతాయి. తరువాత, ఉత్పత్తి స్వచ్ఛత మరియు సరైన పనితీరును నిర్ధారించడానికి ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ పీఠాన్ని అల్ట్రాపుర్ వాటర్ (18 MΩ)తో పూర్తిగా శుభ్రం చేస్తారు. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క ఉన్నత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ప్రతి తుది ఉత్పత్తిని 1,000 తరగతి లేదా అంతకంటే ఎక్కువ క్లీన్‌రూమ్‌లో కఠినంగా తనిఖీ చేసి, శుభ్రం చేసి, ప్యాక్ చేస్తారు.

అధిక స్వచ్ఛత అపారదర్శక సిలికా క్వార్ట్జ్ పదార్థం

VeTeksemi ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ వేడి మరియు కాంతిని సమర్థవంతంగా వేరుచేయడానికి అధిక స్వచ్ఛత అపారదర్శక క్వార్ట్జ్ పదార్థాన్ని ఉపయోగిస్తుంది. దాని అద్భుతమైన హీట్ షీల్డింగ్ మరియు లైట్ షీల్డింగ్ లక్షణాలు ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లో ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్వహించడానికి, సన్నగా ఉండే ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.చిత్రం నిక్షేపణపొర ఉపరితలంపై.

అప్లికేషన్ ఫీల్డ్స్

ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠాలు వాటి అద్భుతమైన పనితీరు కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలోని అనేక రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. లోపరమాణు పొర నిక్షేపణ (ALD) ప్రక్రియ, ఇది ఫిల్మ్ పెరుగుదలపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణకు మద్దతు ఇస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పరికరాల పురోగతిని నిర్ధారిస్తుంది. లోఅల్ప పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) ప్రక్రియ, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తేలికపాటి షీల్డింగ్ సామర్థ్యం సన్నని ఫిల్మ్‌ల ఏకరీతి నిక్షేపణకు హామీని అందిస్తాయి, తద్వారా పరికరం పనితీరు మరియు దిగుబడి మెరుగుపడుతుంది.

అదనంగా, వ్యాప్తి పొర ప్రక్రియలో, ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకత సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ డోపింగ్ ప్రక్రియ యొక్క విశ్వసనీయత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ కీలక ప్రక్రియలు సెమీకండక్టర్ పరికరాల విద్యుత్ పనితీరును నిర్ణయిస్తాయి మరియు ఈ ప్రక్రియల యొక్క ఉత్తమ ఫలితాలను సాధించడంలో అధిక-నాణ్యత ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలు అనివార్యమైన పాత్రను పోషిస్తాయి.

VeTek సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ దుకాణాలు:

Fused Quartz Pedestal shops

హాట్ ట్యాగ్‌లు: ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం, చైనా, తయారీదారు, సరఫరాదారు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, కొనుగోలు, అధునాతన, మన్నికైన, చైనాలో తయారు చేయబడింది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం